[發明專利]一種二維掃描微鏡

在審

• 申請號: 201711378390.6
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN107966810A
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 虞傳慶;金重;王鵬;陳文禮;王宏臣;孫豐沛;董珊
• 申請（專利權）人: 無錫英菲感知技術有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,賈允

1.一種二維掃描微鏡，其特征在于，所述微鏡包括：

鏡面(101,201)和外框架(103，203)，所述鏡面(101,201)和外框架(103，203)之間通過第一扭轉軸(102，202)相連，所述第一扭轉軸(102，202)定義第一方向；

所述外框架(103，203)具有沿著第二方向，向所述外框架兩側延伸的橫梁(104,204)，所述橫梁末端具有沿著第二方向延伸第二扭轉軸(108,208)；

所述第二扭轉軸(108,208)與固定錨點(109,209)連接，通過所述固定錨點(109,209)上的焊盤與外電路實現電連接；

所述橫梁(104，204)的兩側均設置有動梳齒(106,206)，靜梳齒(105,205)與動梳齒(106,206)交錯設置，并布置在橫梁外側的焊盤(107,207)上，靜梳齒(105,205)與動梳齒(106,206)構成第一梳齒對結構。

2.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，在所述第一梳齒對的所述靜梳齒(105，205)與所述動梳齒(106,206)之間施加驅動電壓，所述驅動電壓包括低頻成分和高頻成分，所述驅動電壓的低頻成分驅動整個框架繞第二方向進行低頻諧振或準靜態振動，所述驅動電壓的高頻成分驅動外框架(103，203)和橫梁(104，204)的整體繞第一方向進行高頻諧振，進而耦合激發鏡面(101，102)繞第一方向進行高頻諧振。

3.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，所述外框架(303，403)外邊沿與所述橫梁(304,404)所在邊垂直的兩條邊上設置有第二梳齒對，所述第二梳齒對與所述第一梳齒對之間保持電隔離。

4.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，通過第一深刻蝕槽(507X)將所述橫梁區靜梳齒的焊盤隔離為第一橫梁子焊盤區(5071)和第二橫梁子焊盤區(5072)；通過第二深刻蝕槽(512X)將所述框架處的焊盤區隔離為第一框架子焊盤區(5121)、第二框架子焊盤區(5122)和第三框架子焊盤區(5123)。

5.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，所述第一梳齒對為平面梳齒對或垂直梳齒對；所述第二梳齒對為平面梳齒對或垂直梳齒對。

6.一種二維掃描微鏡，其特征在于，所述微鏡包括：

鏡面和外框架，所述鏡面和外框架之間通過第一扭轉軸相連，所述第一扭轉軸定義第一方向；

所述外框架具有沿著第二方向，向所述外框架兩側延伸的橫梁，所述橫梁末端具有沿著第二方向延伸第二扭轉軸；

所述第二扭轉軸與固定錨點連接，通過所述固定錨點上的焊盤與外電路實現電連接；

所述橫梁的一側均設置有單側動梳齒，與所述橫梁對應的橫梁區焊盤上設置有與所述動梳齒交錯設置的單側靜梳齒，所述單側靜梳齒與所述單側動梳齒構成第一梳齒對結構。

7.根據權利要求6所述的微鏡，其特征在于，在所述第一梳齒對的所述單側靜梳齒與所述單側動梳齒之間施加驅動電壓，所述驅動電壓包括低頻成分和高頻成分，所述驅動電壓的低頻成分驅動整個框架繞第二方向進行低頻諧振或準靜態振動，所述驅動電壓的高頻成分驅動外框架和橫梁的整體繞第一方向進行高頻諧振，進而耦合激發鏡面繞第一方向進行高頻諧振。

8.根據權利要求6所述的微鏡，其特征在于，所述外框架外邊沿與所述橫梁所在邊垂直的兩條邊上設置有第二梳齒對，所述第二梳齒對與所述第一梳齒對之間保持電隔離；

或者，所述外框架外邊沿與所述橫梁所在邊垂直的兩條邊上設置有第二梳齒對，所述第二梳齒對與所述第一梳齒對之間保持電隔離；通過第一深刻蝕槽將所述橫梁區單側靜梳齒的焊盤隔離為第一橫梁子焊盤區和第二橫梁子焊盤區；通過第二深刻蝕槽將所述框架處的焊盤區隔離為第一框架子焊盤區、第二框架子焊盤區和第三框架子焊盤區。

9.根據權利要求6所述的微鏡，其特征在于，所述橫梁區的所述單側靜梳齒的方向相同；

或者，所述橫梁區的所述單側靜梳齒的方向相反。

10.根據權利要求6所述的微鏡，其特征在于，所述第一梳齒對為平面梳齒對或垂直梳齒對；所述第二梳齒對為平面梳齒對或垂直梳齒對。