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[發(fā)明專利]基于磁致壓電勢的晶體管和磁傳感器有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201711377620.7 申請日: 2017-12-19
公開(公告)號: CN109244132B 公開(公告)日: 2021-07-20
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 翟俊宜;劉玉東 申請(專利權(quán))人: 北京納米能源與系統(tǒng)研究所
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;G01R33/09
代理公司: 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283 代理人: 陸文超;肖冰濱
地址: 101400 北京市*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 基于 壓電 晶體管 傳感器
【權(quán)利要求書】:

1.一種基于磁致壓電勢晶體管,其特征在于,包括基底和設(shè)置在所述基底上的鐵電晶體管,其中,所述基底由磁致伸縮材料構(gòu)成;所述鐵電晶體管中包括壓電層;

所述鐵電晶體管包括層疊設(shè)置的下列各層:設(shè)置在所述基底上的下電極層、壓電層、上電極層、絕緣層和半導(dǎo)體層,以及設(shè)置在所述半導(dǎo)體層上的源極和漏極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的基于磁致壓電勢晶體管,其特征在于,所述半導(dǎo)體層的材料為氮化鎵或硅的薄膜或塊體;

或者,所述半導(dǎo)體層的材料為單層分子層二維半導(dǎo)體材料,或者少于100層分子層的二維半導(dǎo)體材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的基于磁致壓電勢晶體管,其特征在于,所述二維半導(dǎo)體材料包括二硫化鉬、二硒化鎢或石墨烯。

4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的基于磁致壓電勢晶體管,其特征在于,所述壓電層的材料為石英、鋯鈦酸鉛、鈦酸鋇或鈮鎂酸鉛。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于磁致壓電勢晶體管,其特征在于,所述基底的材料是鋱鏑鐵、鎳膜或金屬玻璃。

6.一種磁傳感器,其特征在于,包括權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)中所述的基于磁致壓電勢晶體管。

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