[發明專利]抗蝕劑剝離液組合物在審
| 申請號： | 201711375268.3 | 申請日： | 2017-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN108267939A | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發明（設計）人： | 崔慶默;金佑逸;洪憲杓 | 申請（專利權）人： | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 鐘晶;鐘海勝 |
| 地址： | 韓國全*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑剝離液 剝離效果 氨基磺酸鹽 彩色抗蝕劑 時間保存 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，包含氨基磺酸鹽化合物。
2.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，相對于包含所述氨基磺酸鹽化合物的抗蝕劑剝離液組合物整體100重量％，所述氨基磺酸鹽化合物的含量為0.1～10重量％。
3.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述抗蝕劑剝離液組合物進一步包含選自由氫氧化物化合物、極性溶劑、下述化學式1的烷氧基烷基胺化合物、亞烷基二醇烷基醚化合物、水和添加劑組成的組中的一種以上：
化學式1
所述化學式1中，
R1為C1～C6的鏈狀或環狀烷氧基，所述烷氧基可被C1～C6的鏈狀或環狀烷基、或C1～C6的烷氧基取代，
R2和R3各自獨立地為氫或C1～C6的鏈狀或環狀烷基，
n為1～4的整數。
4.根據權利要求3所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述氫氧化物化合物同時包含有機氫氧化物化合物和無機氫氧化物化合物。
5.根據權利要求4所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述有機氫氧化物化合物包含碳原子數1～4的烷基氫氧化銨化合物。
6.根據權利要求3所述的抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，所述極性溶劑包含亞砜化合物。
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