[發明專利]一種濺射旋轉銀靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 201711374784.4
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108085675A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 肖世文;周志宏;沈艷斌
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C24/04
• 分類號: C23C24/04;C23C14/35
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 宋靜娜;郝傳鑫

1.一種濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所述方法為：采用冷噴涂方法制備濺射旋轉銀靶材；基管為不銹鋼管或鈦管；噴涂用白銀粉，所述白銀粉的純度不小于99.99％，所述白銀粉的粉體粒度為15～100μm；冷噴涂噴嘴進口處工作氣壓力為2.5～10mpa，溫度為25℃；工作氣加熱到200～600℃，增壓至2.5～10mpa；采用惰性氣體或潔凈空氣為工作氣，工作氣流量為20-60m3/h；所得靶材的靶材密度為98～99％，所得靶材的純度不小于99.95％，所得靶材的含氧量不大于1000ppm。

2.如權利要求1所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所得靶材的涂層厚度為5～15cm。

3.如權利要求2所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所得靶材的涂層厚度為10～15cm。

4.如權利要求1所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，在回收的靶材上面直接進行冷噴涂修補。

5.如權利要求1所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所述白銀粉為球狀白銀粉。

6.如權利要求1所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所述工作氣與所述白銀粉相遇，形成超過白銀粉臨界速度的超音速金屬銀粉粒子流。

7.如權利要求6所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所述金屬銀粉粒子流的速度為400～600米/秒。

8.如權利要求1所述的濺射旋轉銀靶材的制備方法，其特征在于，所述冷噴涂噴嘴與工件之間距離為10～100mm。

9.一種由權利要求1～8任一項所述制備方法制備得到的濺射旋轉銀靶材。