[發(fā)明專利]測試分選機(jī)用測試托盤移送裝置及測試托盤移送方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711374229.1 | 申請日： | 2017-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN108405355B | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 羅閏成;李相沅 | 申請（專利權(quán)）人： | 泰克元有限公司 |
| 主分類號： | B07C5/02 | 分類號： | B07C5/02 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286 | 代理人： | 全振永;李盛泉 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測試 分選 托盤 移送 裝置 方法 | ||
本發(fā)明涉及支持半導(dǎo)體器件的測試的測試分選機(jī)用測試托盤移送裝置及測試托盤移送方法。本發(fā)明的測試分選機(jī)用測試托盤移送裝置具有用于引導(dǎo)使測試托盤平行移送移送軸的前進(jìn)或后退的引導(dǎo)器。根據(jù)本發(fā)明，借助引導(dǎo)器引導(dǎo)移送軸的前進(jìn)或進(jìn)退，無需放大設(shè)備的大小也可迅速移動測試托盤。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用于移送收容于腔室的內(nèi)部的測試托盤的測試分選機(jī)用測試托盤移送裝置。
背景技術(shù)
所生產(chǎn)的多個半導(dǎo)體器件經(jīng)過測試儀的測試后，分為良品和不良品并僅有良品出貨。
測試儀與半導(dǎo)體器件的電連接通過測試分選機(jī)實(shí)現(xiàn)。
測試分選機(jī)使半導(dǎo)體器件與測試儀電連接，來使經(jīng)過規(guī)定的制造工序制造的半導(dǎo)體器件可由測試儀測試，根據(jù)測試結(jié)果，將多個半導(dǎo)體器件按照等級進(jìn)行分類來裝載于客戶托盤。
通常，以結(jié)束封裝作業(yè)的狀態(tài)生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件以裝載于客戶托盤的狀態(tài)向測試分選機(jī)供給。向測試分選機(jī)供給的半導(dǎo)體器件向位于加載位置的測試托盤加載后，以裝載于測試托盤的狀態(tài)從加載位置經(jīng)過均熱腔室(soak chamber)、測試腔室以及除熱腔室(desoak chamber)向卸載位置移動。當(dāng)測試托盤位于測試腔室內(nèi)時，利用測試儀對半導(dǎo)體器件進(jìn)行測試，當(dāng)測試托盤位于卸載位置時，半導(dǎo)體器件從測試托盤卸載。
眾所周知，均熱腔室對裝載于所收容的測試托盤的多個半導(dǎo)體器件施加熱性壓力(高溫或低溫)，來以測試溫度條件對多個半導(dǎo)體器件進(jìn)行加熱或冷卻，除熱腔室將裝載于所收容的測試托盤的多個半導(dǎo)體器件恢復(fù)靠近常溫的溫度。
大部分情況下，均熱腔室和除熱腔室依次同時收容多個測試托盤，因此多個測試托盤一同步驟性地每次平行移送1螺距(Pitch)。為此，測試分選機(jī)具有移送裝置，用于在均熱腔室和除熱腔室使測試托盤步驟性地每次平行移送1螺距。這種移送裝置公開在韓國公開專利第10-2011-0114281號等。
圖1為在均熱腔室和除熱腔室移送測試托盤的測試分選機(jī)用測試托盤移送裝置100(以下，簡稱為“移送裝置”)的概念圖。參照圖1，移送裝置100包括移送軸110(實(shí)際上設(shè)置有多個)、旋轉(zhuǎn)器(未圖示，實(shí)際上設(shè)置有多個)、進(jìn)退器140以及維持器(未圖示，實(shí)際上設(shè)置有一對)。
移送軸110具有根據(jù)旋轉(zhuǎn)狀態(tài)對測試托盤TT進(jìn)行把持或解除把持的多個把持突起GP。測試托盤TT可向借助多個把持突起GP形成的把持槽GS插入來由移送軸110把持。其中，相鄰的多個把持槽GS之間的間距可以定義為測試托盤TT根據(jù)移送裝置100的一次操作而移動的間距的1螺距。這種移送軸110的前端具有如下結(jié)構(gòu)，以具有1螺距的移動距離的方式介入有鋼球襯套BB，以能夠前進(jìn)或后退以及旋轉(zhuǎn)的方式與腔室CH的壁CW相結(jié)合。
旋轉(zhuǎn)器使移送軸110旋轉(zhuǎn)，來使多個把持突起GP處于把持測試托盤TT的狀態(tài)或者處于解除把持的狀態(tài)。
進(jìn)退器140使移送軸110沿著長度方向前進(jìn)或后退1螺距。
移送軸110為了移送測試托盤TT而把持測試托盤TT，則維持器解除測試托盤TT的把持，當(dāng)測試托盤TT維持停止?fàn)顟B(tài)時，維持器把持測試托盤TT。
根據(jù)如上所述的現(xiàn)有技術(shù)，測試托盤TT以由移送軸110把持的狀態(tài)前進(jìn)1螺距后由維持器把持，接著，以移送軸110解除把持測試托盤TT的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)之后后退1螺距的操作重復(fù)進(jìn)行，測試托盤TT的移送步驟性地每次移動1螺距。
然而，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，前一個測試托盤TT和后一個測試托盤TT之間發(fā)生多個螺距的間距的情況下，存在測試托盤TT的循環(huán)速度變慢的問題。對此，參照圖2進(jìn)行詳細(xì)說明。
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