[發明專利]一種氫化物氣相外延用的噴頭結構

在審

• 申請號: 201711372847.2
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN108048901A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 黃業;劉鵬;李成明;左然
• 申請（專利權）人: 東莞市中鎵半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B25/14
• 分類號: C30B25/14;C30B29/40
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 羅曉林;楊桂洋

1.一種氫化物氣相外延用的噴頭結構，包括圍合封閉的圈壁和噴管，其特征在于，所述圈壁的上端和下端均為開口結構，圈壁內設置至少一塊隔板，該隔板將圈壁的內部空間分隔成至少兩個腔體，噴管設在圈壁內且從上往下穿過隔板延伸至噴頭反應腔，噴頭的底面延伸至反應腔，隔板上設有若干通氣孔，隔板上設置通氣孔后形成為噴頭。

2.根據權利要求1所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述隔板至少設置兩個，不同隔板上的通氣孔的大小相同或者不相同。

3.根據權利要求2所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述不同隔板上的通氣孔正對設置，或者錯位設置。

4.根據權利要求3所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述不同隔板上的通氣孔的形狀相同或者不相同。

5.根據權利要求4所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述不同隔板上的通氣孔的數量相同或者不相同。

6.根據權利要求5所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述圈壁、隔板和噴管均由石英或者陶瓷材料制成。

7.根據權利要求6所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述噴管上設有流量開關。

8.根據權利要求7所述的氫化物氣相外延用的噴頭結構，其特征在于，所述噴管至少設置一根。