[發明專利]一種鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法及其產品和用途有效
| 申請號： | 201711372004.2 | 申請日： | 2017-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN108070860B | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發明（設計）人： | 任富增;朱明余;張銳 | 申請（專利權）人： | 南方科技大學 |
| 主分類號： | C23F1/12 | 分類號： | C23F1/12;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基金 材料 表面 改性 方法 及其 產品 用途 | ||
1.一種鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)預處理：將鈦基或鉭基金屬材料進行拋光至具有鏡面光澤；
(2)光刻：將步驟(1)拋光后的表面涂覆光刻膠層，固化后，曝光進行光刻，顯影；
(3)ICP刻蝕：將步驟(2)顯影后的基體放入ICP或RIE腔內，用刻蝕氣體進行刻蝕，除去所述光刻膠層，得到表面具有納米拓撲結構的醫用金屬材料；
步驟(2)所述曝光的時間為6.0～7.5s；
步驟(2)所述光刻膠層的厚度為0.5～5μm；
步驟(2)所述顯影的時間為5～120s；
步驟(3)所述刻蝕氣體為氬氣、Cl2及BCl3的混合氣體；
所述氬氣的流量為0～90SCCM，所述Cl2的流量為0～100SCCM，所述BCl3的流量為0～100SCCM，所述Cl2的流量與所述BCl3的流量不同時為0；
步驟(3)所述刻蝕的時間為1～30min。
2.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，所述鈦基金屬材料包括鈦或鈦合金；所述鉭基金屬材料包括鉭或鉭合金。
3.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(1)所述拋光包括機械拋光和/或振動拋光。
4.如權利要求3所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，所述機械拋光包括用砂紙拋磨合/或用拋光布拋光。
5.如權利要求3所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，所述拋光之后還包括噴丸和/或離子清洗。
6.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(2)所述光刻膠層的厚度為2.5～3.5μm。
7.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(2)所述固化包括烘干。
8.如權利要求7所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，所述烘干的時間為1～10min。
9.如權利要求8所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，所述烘干的時間為3～4min。
10.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(2)所述曝光包括紫外線接觸式曝光。
11.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(2)所述顯影的時間為20～50s。
12.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(2)所述顯影之后還包括：烘干。
13.如權利要求1所述的鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法，其特征在于，步驟(3)所述刻蝕的時間為5～15min。
14.一種表面具有納米拓撲結構的醫用金屬材料，其特征在于，通過如權利要求1～13任一項所述鈦基及鉭基金屬材料的表面改性方法制備得到。
15.如權利要求14所述表面具有納米拓撲結構的醫用金屬材料的用途，其特征在于，所述表面具有納米拓撲結構的醫用金屬材料用于骨科植入體、種植牙和心血管支架。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南方科技大學，未經南方科技大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711372004.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
