[發明專利]一種單極矩陣式放電結構的靜電場吸附裝置在審
| 申請號： | 201711367355.4 | 申請日： | 2017-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN107899748A | 公開（公告）日： | 2018-04-13 |
| 發明（設計）人： | 胡建忠 | 申請（專利權）人： | 胡建忠 |
| 主分類號： | B03C3/41 | 分類號： | B03C3/41;B03C3/47 |
| 代理公司： | 上海世圓知識產權代理有限公司31320 | 代理人： | 王佳妮,顧俊超 |
| 地址： | 200060 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單極 矩陣 放電 結構 靜電場 吸附 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種單極矩陣式放電結構的靜電場吸附裝置，包括若干塊平行放置的負極板，其特征在于：每塊負極板均對應有一塊正極板，正極板和負極板位于同一水平面上，正極板和負極板之間有間隙。
2.按權利要求1所述的一種單極矩陣式放電結構的靜電場吸附裝置，其特征在于：在正極板上面向負極板處的端面上設置有若干根放電針。
3.按權利要求2所述的一種單極矩陣式放電結構的靜電場吸附裝置，其特征在于：所有正極板上的放電針均相互平行。
4.按權利要求1所述的一種單極矩陣式放電結構的靜電場吸附裝置，其特征在于：正極板和負極板之間的間隙寬度為3——40毫米。
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