[發明專利]一種連續蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201711364622.2
• 申請日: 2017-12-18
• 公開（公告）號: CN107893212B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 曾興中;蔡曉義;柯賢軍;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利(惠州)智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 44202 廣州三環專利商標代理有限公司
• 代理人: 鄧聰權

本發明涉及蒸鍍領域，公開了一種連續蒸鍍設備，包括主腔體及位于所述主腔體內的線性蒸發源、承載有線性坩堝的線性坩堝承載平臺、升降單元，還包括兩個線性坩堝真空轉換腔體及分別位于所述線性坩堝真空轉換腔體內的搬運單元，其中，所述線性坩堝真空轉換腔體用于放置所述線性坩堝承載平臺，所述搬運單元用于將所述線性坩堝承載平臺在所述線性坩堝真空轉換腔體與所述升降單元之間轉移，所述升降單元用于使所述線性坩堝承載平臺脫離或放入所述線性蒸發源，所述線性坩堝真空轉換腔體與所述主腔體分別設有單獨的抽真空裝置。采用該技術方案提升了產品性能以及設備有效生產時間，達到了長時間連續生產的目的。

技術領域

本發明涉及蒸鍍領域，特別涉及一種連續蒸鍍設備。

背景技術

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)生產中，現有的蒸鍍設備主要分為線性源蒸鍍設備和點源蒸鍍設備，二者都是通過在大氣環境中對蒸鍍腔體內的坩堝添加有機材料，抽真空至高真空環境后，加熱坩堝使有機材料氣化，從而制備OLED器的有機薄膜。雖然二者制備薄膜的原理基本相同，但制備薄膜的方式存在區別：點源蒸鍍設備，有效蒸發源位置相對固定，通過玻璃旋轉，確保制備薄膜的均勻性；而線性蒸發源，玻璃固定，通過勻速移動線性蒸發源，確保制備薄膜的均勻性，相對而言，線性蒸發源制備的薄膜在均勻性方面較點源更具有優勢；由于坩堝一次性添加的材料有限，需定期開腔重新添加材料，該方式對腔體內部蒸鍍環境造成污染且影響蒸鍍設備的運行時間和產量。

專利號CN 107267920B《蒸鍍設備、坩堝及蒸鍍方法》專利公布一種連續蒸鍍設備和操作方法，從蒸鍍設備蒸發源坩堝圓形分布可以看出其主要針對點源蒸鍍設備，其通過伸縮升降式旋轉吊裝機構對點源中的有效蒸發位坩堝和儲備腔體中坩堝進行替換，該設計具有局限性，由于線性坩堝體積較大，坩堝重量較重，且線性坩堝呈線性排布，噴嘴上部還有隔熱板，使用該專利所述的方法，不適用于線性蒸發源蒸鍍設備，無法實現不開腔前提下對蒸發源內部線性源坩堝更換到達材料的續加并實現連續蒸鍍的目的；且縮升降式旋轉吊裝機構位于點源中心部位，會干涉點源的有效蒸發范圍，影響膜厚均勻性，同時蒸鍍時有機材料會在縮升降式旋轉吊裝機構上沉積，該機構在移動時會導致材料掉落，甚至會導致沉積材料掉落至點源噴嘴位置，導致堵孔的現象。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種連續蒸鍍設備，提升了產品性能以及設備有效生產時間，達到了長時間連續生產的目的。

本發明實施例提供的一種連續蒸鍍設備，包括主腔體及位于所述主腔體內的線性蒸發源、承載有線性坩堝的線性坩堝承載平臺、升降單元，還包括兩個線性坩堝真空轉換腔體及分別位于所述線性坩堝真空轉換腔體內的搬運單元，其中，所述線性坩堝真空轉換腔體用于放置所述線性坩堝承載平臺，所述搬運單元用于將所述線性坩堝承載平臺在所述線性坩堝真空轉換腔體與所述升降單元之間轉移，所述升降單元用于使所述線性坩堝承載平臺脫離或放入所述線性蒸發源，所述線性坩堝真空轉換腔體與所述主腔體分別設有單獨的抽真空裝置。

可選地，所述線性坩堝承載平臺頂面為平面板，所述平面板上設有用于確認線性坩堝位置的卡位板，所述線性坩堝承載平臺背面設有承重板，所述承載板呈“非”字排布，中間條形滑槽用于所述搬運單元取放所述線性坩堝承載平臺。

可選地，所述搬運單元設有與所述條形滑槽適配的機械手臂，所述機械手臂通過驅動機構沿導軌上下前后移動。

可選地，所述搬運單元設有位置感應器，所述位置感應器用于精確控制所述機械手臂上下和前后移動的距離和位置。

可選地，所述機械手臂采用伺服電機驅動或者氣缸驅動。

可選地，所述升降單元設有升降位置感應傳感器，通過所述升降位置感應傳感器確認所述升降單元的位置。

可選地，所述升降單元設有所述線性坩堝的固定和位置校正結構，所述固定和位置校正結構采用伺服電機驅動。