[發明專利]一種硅環的加工方法在審
| 申請號： | 201711360732.1 | 申請日： | 2017-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN109926908A | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | 庫黎明;朱秦發;夏青;白杜娟;孟雪瑩;魯進軍;閆志瑞 | 申請（專利權）人： | 有研半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B37/27;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅環 羊毛輪 加工中心 加工 磨頭 表面去除 調整卡槽 加工效率 卡槽表面 研磨拋光 研磨膏 有效地 拋光 自轉 刀柄 清洗 腐蝕 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅環的加工方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
(1)硅環腐蝕后，將硅環固定在加工中心平臺上，加工中心刀柄上裝有羊毛輪磨頭，在羊毛輪磨頭上加入研磨膏；
(2)通過調整羊毛輪磨頭的自轉速度，調整卡槽表面去除量；
(3)對研磨拋光后的硅環進行清洗。
2.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述步驟(1)中，硅環使用夾持工裝固定在加工中心平臺上。
3.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述步驟(1)中，研磨膏使用金剛砂研磨膏，目數為100～10000目。
4.根據權利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，羊毛輪磨頭的自轉速度為1～20000轉/分。
5.根據權利要求4所述的加工方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，羊毛輪磨頭的自轉速度為2000～6000轉/分。
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