[發(fā)明專利]一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711358693.1
• 申請日: 2017-12-17
• 公開（公告）號: CN107999153B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉趙淼;李夢麒;張龍祥
• 申請（專利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：該微通道過濾槽包括主體結(jié)構(gòu)(1)、流體入口(2)、橢圓形貯液池(3)、第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)、第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)、微流控通道(8)和下底板(9)；

流體入口(2)、橢圓形貯液池(3)、微流控通道(8)為主體結(jié)構(gòu)(1)上的凹槽結(jié)構(gòu)；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)、第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)均為主體結(jié)構(gòu)(1)上的孔洞結(jié)構(gòu)，且各結(jié)構(gòu)為芯片工作時(shí)液體的流動區(qū)域；所述主體結(jié)構(gòu)(1)和下底板(9)通過上下鍵合固定，下底板(9)置于主體結(jié)構(gòu)(1)底部，以支撐芯片的主體結(jié)構(gòu)并提供流動空間；流體入口(2)通過微通道與橢圓形貯液池(3)連接，橢圓形貯液池(3)與微流控通道(8)連接；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)、第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)設(shè)置在橢圓形貯液池(3)內(nèi)；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)和第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)并排布置在橢圓形貯液池(3)內(nèi)；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)和第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)之間為錯列布置；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)、第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)、第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)和第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)的圓柱陣列尺寸逐漸由大到小漸變；流體從流體入口(2)流至橢圓形貯液池(3)并到達(dá)第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)，流體入口(2)位于橢圓形貯液池(3)中間部位，并與橢圓形貯液池(3)垂直相接；第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(4)由7個半徑150μm，高120μm的圓柱構(gòu)成，相鄰兩個圓柱間距為100μm，當(dāng)流體經(jīng)過第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)時(shí)，大于100μm的固體垃圾會被停留在貯液池。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：所述主體結(jié)構(gòu)(1)和下底板(9)由聚二甲基硅烷制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：流體從第一級圓柱陣列結(jié)構(gòu)流至第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(5)，流體中所攜帶的固體垃圾均小于100μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)由10個半徑120μm，高120μm的圓柱構(gòu)成，相鄰兩個圓柱間距為80μm，大于80μm的固體垃圾會被停留在貯液池。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：流體從第二級圓柱陣列結(jié)構(gòu)流至第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(6)，流體中所攜帶固體垃圾均小于80μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)由13個半徑90μm，高120μm的圓柱構(gòu)成，相鄰兩個圓柱間距為60μm，大于60μm的固體垃圾會被停留在貯液池；流體從第三級圓柱陣列結(jié)構(gòu)流至第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)(7)，所攜帶固體垃圾均小于60μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四級遞減間距多圓柱陣列結(jié)構(gòu)微通道過濾槽，其特征在于：第四級圓柱陣列結(jié)構(gòu)由17個半徑60μm，高120μm的圓柱構(gòu)成，相鄰兩個圓柱間距為40μm，大于40μm的固體垃圾會被停留在貯液池，流體最終流至出口位置，該出口位置能夠與任意形狀的通道相連接，以達(dá)到向任意通道流入純凈流體的目的。