[發(fā)明專利]一種冷卻構(gòu)件及真空鍍膜設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711353205.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107841727A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 管長(zhǎng)樂(lè)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京創(chuàng)昱科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46;C23C16/18
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11002
• 代理人: 王瑩,吳歡燕

1.一種冷卻構(gòu)件，其特征在于，包括冷卻板和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述冷卻板包括若干根冷卻條，所述冷卻條與冷卻液管路連通，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)件和轉(zhuǎn)軸，所述驅(qū)動(dòng)件與所述轉(zhuǎn)軸的一端連接，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與所述冷卻條連接。

2.如權(quán)利要求1所述的冷卻構(gòu)件，其特征在于，所述冷卻板還包括框架，所述冷卻條設(shè)于所述框架內(nèi)，所述框架上設(shè)有用以所述轉(zhuǎn)軸穿過(guò)的穿孔。

3.如權(quán)利要求1所述的冷卻構(gòu)件，其特征在于，所述冷卻條設(shè)有與所述轉(zhuǎn)軸適配的貫穿孔，所述冷卻條與所述轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.如權(quán)利要求1所述的冷卻構(gòu)件，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件為電機(jī)或氣缸。

5.如權(quán)利要求2所述的冷卻構(gòu)件，其特征在于，所述框架與所述轉(zhuǎn)軸的材質(zhì)均為不銹鋼材質(zhì)。

6.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括腔室、用以加熱基片的加熱燈管和權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的冷卻構(gòu)件，所述驅(qū)動(dòng)件安裝在所述腔室的側(cè)壁外側(cè)，所述冷卻板安裝在所述加熱燈管與所述腔室的底板之間。

7.如權(quán)利要求6所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸的一端通過(guò)第一密封旋轉(zhuǎn)裝置穿過(guò)腔室的側(cè)壁與所述驅(qū)動(dòng)件連接，所述轉(zhuǎn)軸的另一端通過(guò)第二密封旋轉(zhuǎn)裝置可旋轉(zhuǎn)的安裝在對(duì)稱側(cè)的腔室側(cè)壁上。

8.如權(quán)利要求7所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述第一密封旋轉(zhuǎn)裝置與所述第二密封旋轉(zhuǎn)裝置均為磁流體軸承。

9.如權(quán)利要求6所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述框架通過(guò)支撐件固定在所述腔室的底板上側(cè)。

10.如權(quán)利要求6所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述加熱燈管為紅外燈管，所述紅外燈管安裝于基片的下側(cè)。