[發明專利]大尺寸板條狀光學元件的加工裝置檢測裝置和加工方法

有效

• 申請號: 201711352614.6
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108177047B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 頓愛歡;邵建達;吳福林;徐學科;陳榮;許振其
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B55/02;B24B13/005;B24B49/12;G01B11/24
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種大尺寸板條狀光學元件的加工裝置和檢測裝置，其特征在于該加工裝置包括拼盤式工裝夾具和標準單軸拋光機；該拼盤式工裝夾具包括：緊固元件(1)、工件基板(2)和上盤機構(4)；待加工的板條狀光學元件(3)粘合在所述的工件基板(2)上，該工件基板(2)與所述的上盤機構(4)通過緊固元件連接在一起；

所述的檢測裝置包括：標準鏡組件(5)、供待測整盤板條狀光學元件(6)放置的可調承載車(7)、電腦控制端(8)、豎式干涉儀(9)、面形顯示端(10)和工作臺(11)；所述的標準鏡組件(5)與所述的豎式干涉儀(9)自下而上固定連接并置于機架上配合使用，在所述的工作臺(11)面上具有一個通孔，依次設置電腦控制端(8)、機架、面形顯示端(10)，所述的豎式干涉儀(9)和標準鏡組件(5)位于所述的通孔的上方，所述的豎式干涉儀(9)和面形顯示端(10)分別與所述的電腦控制端(8)相連，所述的可調承載車(7)置于所述的工作臺(11)面下所述的豎式干涉儀(9)下方。

2.根據權利要求1所述的大尺寸板條狀光學元件的加工裝置和檢測裝置，其特征在于所述的工件基板(2)上開有平行通孔，便于板條狀光學元件加工過程的散熱和下盤操作；工件基板(2)的尺寸可根據板條狀光學元件的長度和寬度進行調節。

3.根據權利要求1所述的大尺寸板條狀光學元件的加工裝置和檢測裝置，其特征在于所述的豎式干涉儀(9)采用豎式結構并配有直線導軌，可沿導軌在工作臺平面上前后左右運動，便于測量待測整盤板條狀光學元件(6)不同區域的面形數據。

4.根據權利要求1所述的大尺寸板條狀光學元件的加工裝置和檢測裝置，其特征在于所述的可調承載車(7)的高度和進給可調，便于檢測；另外配有滾輪和鎖緊機構，便于運動和靜止。

5.利用權利要求1至4任一項所述的大尺寸板條狀光學元件的加工裝置和檢測裝置加工大尺寸板條狀光學元件的方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

1)將工件基板(2)平放在工作平臺上，在工件基板(2)上均勻布點專用膠水；將板條狀光學元件(3)均勻的、平行排布在所述的工件基板(2)上進行拼盤；待膠水干燥、工件粘牢后形成整盤板條狀光學元件(6)，將所述的整盤板條狀光學元件(6)翻轉，將所述的上盤機構(4)貼合在所述的工件基板(2)的底部，利用緊固元件(1)將所述的工件基板(2)和上盤機構(4)固定在一起；

2)將拼盤完成的整個工裝夾具的工件面朝下放在所述的標準單軸拋光機的拋光盤上，將標準單軸拋光機的鐵筆與上盤機構(4)進行連接；

3)啟動標準單軸拋光機電源，加注拋光液，對的拼盤式多件板條狀光學元件(3)進行一次性加工；

4)停止運行單軸機，將工裝夾具整盤取下，用去離子水將所述的整盤板條狀光學元件(6)沖洗干凈后，放在可調承載車(7)上，通過可調承載車(7)推到所述的豎式干涉儀(9)的正下方；啟動所述的電腦控制端(8)和面形顯示端(10)并打開面形檢測軟件，調節所述的豎式干涉儀(9)和標準鏡組件(5)的俯仰角和距離，并調節待測整盤板條狀光學元件(6)的高度，直到所述的面形顯示端(10)上顯示清晰的面形干涉條紋并記錄數據，完成面形檢測；

5)當整盤板條狀光學元件(6)的面形檢測不滿足要求，則返回步驟2)，當整盤板條狀光學元件(6)的面形檢測滿足要求，則進入下一步

6)將所述的板條狀光學元件下盤。