[發明專利]磁性角度傳感器設備和操作方法

有效

• 申請號: 201711352407.0
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108204785B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: U·奧塞勒克納
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01B7/30
• 分類號: G01B7/30
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 鄭立柱;崔卿虎

1.一種磁性角度感測系統，包括：

第一磁性感測設備，

第二磁性感測設備，

第三磁性感測設備，

襯底，其中所述第一磁性感測設備，所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備被布置在所述襯底上，

其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備每個被布置為響應于與所述襯底的主表面垂直的磁場分量，

其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備每個包括相同數目的磁性感測元件，

其中所述第二磁性感測設備在所述主表面上布置為鑒于所述第一磁性感測設備圍繞參考點順時針旋轉120°，

其中所述第三磁性感測設備在所述主表面上布置為鑒于所述第一磁性感測設備圍繞所述參考點逆時針旋轉120°，

其中所述磁性感測元件被定向在所述襯底上以具有彼此平行的第一讀取方向，

其中所述磁性感測元件被定向在所述襯底上以具有彼此平行的第二讀取方向，

其中所述第一讀取方向與所述第二讀取方向垂直。

2.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述參考點位于半導體器件的表面上，其中所述參考點還位于固定到可旋轉軸的磁場源的旋轉軸線上。

3.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，

其中所述第二磁性感測設備布置在所述主表面上，其中所述第二磁性感測設備的重心鑒于所述第一磁性感測設備的重心圍繞所述參考點順時針旋轉120°，并且

其中所述第三磁性感測設備布置在所述主表面上，其中所述第三磁性感測設備的重心鑒于所述第一磁性感測設備的重心圍繞所述參考點逆時針旋轉120°。

4.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備中的每個磁性感測設備的所述磁性感測元件與所述磁性感測設備以相同的方式旋轉。

5.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中若干磁性感測設備的若干磁性感測元件示出相同的取向和旋轉，其中所述若干磁性感測設備包括所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備中的至少一個磁性感測設備。

6.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述磁性感測元件是霍爾板或MAG-FET中的至少一項。

7.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備中的每一個磁性感測設備包括一個磁性感測元件、兩個磁性感測元件或四個磁性感測元件。

8.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備中的每個磁性感測設備的所述磁性感測元件布置為矩形形狀、布置在直線上或者布置在讀取圓圈上。

9.根據權利要求1所述的磁性角度感測系統，其中所述第一磁性感測設備、所述第二磁性感測設備和所述第三磁性感測設備中的每個磁性感測設備的所述磁性感測元件經由互連層并聯連接。