[發(fā)明專(zhuān)利]脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711348821.4 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN107983419A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張濤;何偉;劉安陽(yáng);羅春云 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 江蘇龍凈科杰催化劑再生有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B01J38/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B01J38/00;B01J38/62;B01J38/68;B01J23/92;B01J23/22 |
| 代理公司： | 江陰義海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32247 | 代理人： | 陳建中 |
| 地址： | 224000 江蘇省鹽*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 催化劑 原子 沉積 再生 工藝 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及發(fā)明涉及脫硝催化劑再生領(lǐng)域，具體涉及一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝。
背景技術(shù)
脫硝催化劑再生是通過(guò)分析催化劑失活的原因，采取相應(yīng)的工藝手段消除催化劑失活因素，使的失活脫硝催化劑恢復(fù)活性和選擇性，重新使用。脫硝催化劑再生都是采用一般浸漬法進(jìn)行活性補(bǔ)充，在實(shí)際批量生產(chǎn)中會(huì)存在無(wú)法精確控制活性物質(zhì)量，造成脫硝效率不穩(wěn)定、SO2氧化高、高溫煅燒提高生產(chǎn)成本并在再生過(guò)程催化劑損壞的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，通過(guò)原子層沉積法再生脫硝催化劑，植入的活性物質(zhì)氧化釩精確可控，分散性好，催化劑脫硝效率高、SO2氧化率低，且再生催化劑無(wú)需煅燒處理，整個(gè)過(guò)程對(duì)催化劑無(wú)損傷。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，包括如下步驟：
1）失活脫硝催化劑預(yù)處理：通過(guò)負(fù)壓吸塵器除去失活脫硝催化劑表面的灰塵，然后將催化劑浸入包含0.06～0.09%乳酸、0.12～0.18%草酸的去離子水溶液中，以25～35HZ超聲35～55min，取出后于125～145℃干燥35～85min；
2）原子層沉積法植入活性物質(zhì)：將步驟1）處理后的催化劑置入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔中，密封反應(yīng)腔；將原子層沉積系統(tǒng)內(nèi)抽真空后通入高純氮?dú)猓{(diào)節(jié)反應(yīng)腔出口閥門(mén)使腔內(nèi)壓力處于負(fù)壓，沉積溫度設(shè)定在330～380℃；向反應(yīng)腔內(nèi)注入釩前驅(qū)體，注入時(shí)間控制在200～250s，然后通入惰性氣體沖洗，沖洗時(shí)間控制在35～55s；循環(huán)沉積3～5次，得到再生脫硝催化劑；
所述釩前驅(qū)體為三異丙氧醇釩、三異丙氧基氧化釩、乙酰丙酮氧化釩中的任意一種。
優(yōu)選的，再生脫硝催化劑中氧化釩的質(zhì)量百分含量為0.1～0.5%。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：提供一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，通過(guò)原子層沉積法再生脫硝催化劑，植入的活性物質(zhì)氧化釩精確可控，分散性好，催化劑脫硝效率高、SO2氧化率低，且再生催化劑無(wú)需煅燒處理，整個(gè)過(guò)程對(duì)催化劑無(wú)損傷。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
實(shí)施例1
一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，包括如下步驟：
1）失活脫硝催化劑預(yù)處理：通過(guò)負(fù)壓吸塵器除去失活脫硝催化劑表面的灰塵，然后將催化劑浸入包含0.06%乳酸、0.12%草酸的去離子水溶液中，以25HZ超聲35min，取出后于125℃干燥35min；
2）原子層沉積法植入活性物質(zhì)：將步驟1）處理后的催化劑置入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔中，密封反應(yīng)腔；將原子層沉積系統(tǒng)內(nèi)抽真空后通入高純氮?dú)猓{(diào)節(jié)反應(yīng)腔出口閥門(mén)使腔內(nèi)壓力處于負(fù)壓，沉積溫度設(shè)定在330℃；向反應(yīng)腔內(nèi)注入三異丙氧醇釩前驅(qū)體，注入時(shí)間控制在200s，然后通入惰性氣體沖洗，沖洗時(shí)間控制在35s；循環(huán)沉積3次，得到再生脫硝催化劑；再生脫硝催化劑中氧化釩的質(zhì)量百分含量為0.1%。
實(shí)施例2
一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，包括如下步驟：
1）失活脫硝催化劑預(yù)處理：通過(guò)負(fù)壓吸塵器除去失活脫硝催化劑表面的灰塵，然后將催化劑浸入包含0.09%乳酸、0.18%草酸的去離子水溶液中，以35HZ超聲55min，取出后于145℃干燥85min；
2）原子層沉積法植入活性物質(zhì)：將步驟1）處理后的催化劑置入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔中，密封反應(yīng)腔；將原子層沉積系統(tǒng)內(nèi)抽真空后通入高純氮?dú)猓{(diào)節(jié)反應(yīng)腔出口閥門(mén)使腔內(nèi)壓力處于負(fù)壓，沉積溫度設(shè)定在380℃；向反應(yīng)腔內(nèi)注入三異丙氧基氧化釩前驅(qū)體，注入時(shí)間控制在250s，然后通入惰性氣體沖洗，沖洗時(shí)間控制在55s；循環(huán)沉積5次，得到再生脫硝催化劑；再生脫硝催化劑中氧化釩的質(zhì)量百分含量為0.5%。
實(shí)施例3
一種脫硝催化劑的原子層沉積法再生工藝，包括如下步驟：
1）失活脫硝催化劑預(yù)處理：通過(guò)負(fù)壓吸塵器除去失活脫硝催化劑表面的灰塵，然后將催化劑浸入包含0.08%乳酸、0.14%草酸的去離子水溶液中，以30HZ超聲40min，取出后于135℃干燥55min；
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