[發明專利]應用于柔性基板制作的涂布液供給裝置

有效

• 申請號: 201711341240.8
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN108097545B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 張純
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;陽志全

本發明公開了一種應用于柔性基板制作的涂布液供給裝置，包括外殼、設于所述外殼內的涂布液存儲容器以及與所述外殼連通的真空發生裝置，所述外殼上開設有涂布液進口、涂布液出口，所述涂布液存儲容器同時與所述涂布液進口、所述涂布液出口連通，并與所述外殼圍成密閉的腔體；所述真空發生裝置與所述腔體連通，以對所述腔體加壓使所述涂布液存儲容器容積變小而將涂布液從所述涂布液出口壓出。本發明的涂布液供給裝置結構簡單，涂布液不與氣體壓縮腔直接接觸，無需對密閉腔體進行高精度的處理或研磨，制造成本低，不會產生微粒，且涂布液吐出流量大，可以適用于高世代的基板的制作。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種應用于柔性基板制作的涂布液供給裝置。

背景技術

柔性顯示技術，作為FPD(Flat Panel Display，即平板顯示)新興領域之一，是未來OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)面板發展的大方向。

柔性基板襯底制作，是制作柔性OLED的前制程，直接關聯和影響后續整個柔性制程品質。柔性基板襯底制作過程中，用到的主要有機涂布材料是液態PAA(Polyimide amicacid，PI制作前體，業界內一般稱為PI solution，簡稱PI)、PET(Polyethyleneterephthalate，聚對苯二甲酸乙二醇酯)和PEN(PENPolyethylene naphthalate，聚萘二甲酸乙二醇酯)等。

受限于柔性基板襯底材料特性(粘度特別高，通常為3000-10000CP)，柔性涂布設備的涂布液供給裝置使用的泵需要非常大的推力，傳統的涂布液供給裝置通常使用活塞式壓力泵吸入和壓出涂布液，其活塞與腔體、涂布液直接接觸，工作時來回往返動作，活塞與腔體的摩擦極易產生Particle(微粒)，然后混合在涂布液內造成產品不良。并且，活塞與腔體直接接觸，為保證活塞工作時來回往返動作的順暢度，需要對密閉腔體內部表面進行表面處理和高精度的研磨，導致活塞式壓力泵制造時間長，生產成本高昂。另外，當其應用到高世代的基板制作時，涂布量非常大，活塞式壓力泵的推力顯得過小而不再適用。

發明內容

鑒于現有技術存在的不足，本發明提供了一種應用于柔性基板制作的涂布液供給裝置，制造成本低、不會產生Particle，且涂布液吐出流量大。

為了實現上述的目的，本發明采用了如下的技術方案：

一種應用于柔性基板制作的涂布液供給裝置，包括外殼、設于所述外殼內的涂布液存儲容器以及與所述外殼連通的真空發生裝置，所述外殼上開設有涂布液進口、涂布液出口，所述涂布液存儲容器同時與所述涂布液進口、所述涂布液出口連通，并與所述外殼圍成密閉的腔體；所述真空發生裝置與所述腔體連通，以對所述腔體加壓使所述涂布液存儲容器容積變小而將涂布液從所述涂布液出口壓出。

作為其中一種實施方式，所述涂布液存儲容器的至少一部分為柔性材料制成。

作為其中一種實施方式，所述涂布液存儲容器包括囊狀的主體部分和分別連通所述主體部分不同部位的第一管道和第二管道，所述第一管道、所述第二管道分別與所述涂布液進口、所述涂布液出口連通。

作為其中一種實施方式，所述主體部分包括分別與所述第一管道、所述第二管道連通的兩個縮口部分，越靠近臨近的所述第一管道或所述第二管道，相應的所述縮口部分的截面積越小。

作為其中一種實施方式，所述外殼上還開設有空氣進口、空氣出口，所述空氣進口、空氣出口分別與所述真空發生裝置連通。

作為其中一種實施方式，所述涂布液進口、所述涂布液出口分別設于所述外殼的兩相對端，所述第一管道和第二管道分別設于所述主體部分的兩端。

作為其中一種實施方式，所述涂布液進口與所述涂布液存儲容器之間還設有用于防止所述涂布液存儲容器內的涂布液在壓力作用下朝所述涂布液進口回流的止回模塊。