[發明專利]集成電路紫外負性光刻膠的生產裝置在審
| 申請號： | 201711341192.2 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN108241254A | 公開（公告）日： | 2018-07-03 |
| 發明（設計）人： | 廖如佴 | 申請（專利權）人： | 成都斯伯里科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/008 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610041 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 溶膠釜 冷凍室 紫外負性光刻膠 生產裝置 過濾機 調膠 環化 集成電路 | ||
【權利要求書】：
1.集成電路紫外負性光刻膠的生產裝置，其特征在于，主要包括：溶膠釜(D101)、環化釜(D102)、冷凍室(L101)、調膠釜(D103)、過濾機(L102)、百級超凈間(L103)，其中，環化釜(D102)分別與溶膠釜(D101)、冷凍室(L101)相連接，過濾機(L102)分別與調膠釜(D103)、百級超凈間(L103)相連接，其中，溶膠釜(D101)公稱容積420-450L。
2.根據權利要求1所述集成電路紫外負性光刻膠的生產裝置，其特征在于，所述的環化釜(D102)內鍋直徑850-900mm。
3.根據權利要求1所述集成電路紫外負性光刻膠的生產裝置，其特征在于，所述的百級超凈間(L103)濾膜孔徑0.11-0.12μm。
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