[發明專利]橫向壓電驅動變形鏡及其裝配方法

在審

• 申請號: 201711339099.8
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN107942508A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 鐵貴鵬;戴一帆;關朝亮;范占斌;寧禹;劉俊峰
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍國防科技大學
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008
• 代理人: 厲田

1.一種橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：包括基座（1）、橫向殼套（2）、彈性墊圈（3）、反射鏡（4）、壓電驅動器（5）、施壓裝置（6）和接電組件（7），所述橫向殼套（2）橫向安裝在基座（1）上，所述反射鏡（4）和壓電驅動器（5）粘接并套裝于橫向殼套（2）內孔，所述彈性墊圈（3）安裝在反射鏡（4）邊沿，彈性墊圈（3）一端面與橫向殼套（2）活動接觸，所述施壓裝置（6）螺紋套裝在橫向殼套（2）的內孔、且施壓裝置（6）與彈性墊圈（3）活動接觸，所述接電組件（7）安裝在施壓裝置（6）上并通過導線與壓電驅動器（5）連接。

2.根據權利要求1所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述彈性墊圈（3）為截面為U形的環狀U形墊圈，所述反射鏡（4）夾固在所述U形墊圈的環狀U形槽內。

3.根據權利要求2所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述施壓裝置（6）包括支撐滑套（61）和螺紋調節環（62），所述支撐滑套（61）滑套在所述橫向殼套（2）內且端面與所述U形墊圈活動接觸，所述螺紋調節環（62）螺紋連接于所述橫向殼套（2）并活動活動接觸所述支撐滑套（61），調整所述螺紋調節環（62）在所述橫向殼套（2）中螺旋深度控制彈性墊圈（3）的壓力。

4.根據權利要求3所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述接電組件（7）包括電路板（71）和接線板（72），所述電路板（71）可拆卸式固裝在所述支撐滑套（61）內且其上裝設有插頭（711），所述接線板（72）穿套在所述支撐滑套（61）內且其上設有供所述導線穿過的引線孔（721）。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述基座（1）包括橫板（11）和豎板（12），所述橫板（11）與所述豎板（12）可拆卸式固定連接，所述豎板（12）可拆卸式套固所述橫向殼套（2），所述橫板（11）可拆卸式固定連接于外設平臺。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述反射鏡（4）包括經過拋光的基準面和反射面，其基準面鍍有金屬膜且與接地導線連接；所述壓電驅動器（5）包括接地電極面和區域電極面，其接地電極面通過導電膠與所述反射鏡（4）的基準面相粘結；所述接電組件（7）通過導線連接于所述壓電驅動器（5）的區域電極面。

7.根據權利要求6所述的橫向壓電驅動變形鏡，其特征在于：所述反射鏡（4）為單晶硅反射鏡；所述壓電驅動器（5）為絲網印刷的壓電陶瓷驅動器。

8.一種基于權利要求1至7中任一項所述的橫向壓電驅動變形鏡的裝配方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：將壓電驅動器（5）與反射鏡（4）的中心對齊并通過導電膠進行粘接構成層結構部件，并將導線與所述層結構部件的電極分別焊接；

S2：用彈性墊圈（3）夾套并緊固在所述反射鏡（4）的側面及邊緣上下表面，并置于施壓裝置（6）上；

S3：將橫向殼套（2）套配于疊放好的所述彈性墊圈（3）和所述施壓裝置（6），使所述施壓裝置（6）固定在所述橫向殼套（2）內并施壓于所述彈性墊圈（3）；

S4：將與所述層結構部件的電極焊接的導線的另一端與接電組件（7）焊接在一起，將接電組件（7）安裝在所述施壓裝置（6）上；

S5：將裝配有夾固有所述層結構部件的彈性墊圈（3）和施壓裝置（6）的橫向殼套（2）橫向固定于基座（1）。