[發明專利]基板切割裝置

在審

• 申請號: 201711338311.9
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN108218213A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 盧光碩;金范錫;鄭下震;李峻碩;崔漢鉉;麴今鎬;徐正歡;金鎮洛;河完龍
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: C03B33/023
• 分類號: C03B33/023
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷;李英艷

1.一種基板切割裝置，其特征在于，包括：

第一移送單元，其包括用于支撐基板的第一板；

切割單元，其包括：框體，其向垂直于所述基板被移送的方向延長；頭部，其能沿著所述框體而移動地設置，并具備切割輪；及

第二移送單元，其在所述基板被移送的方向上往返移動，所述第二移送單元包括第二板，所述第二板在所述基板被所述切割輪切割時與所述第一板一同支撐所述基板。

2.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第一板、或所述第二板、或所述第一板及第二板在所述基板移動時將所述基板漂浮，在支撐所述基板時吸附固定所述基板。

3.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第一移送單元還包括從外部將所述基板移送至所述切割單元的穿梭單元，

所述穿梭單元包括：導軌，其向所述基板的移送方向延長；穿梭部件，其吸附所述基板的底面并沿著所述導軌移動；穿梭部件升降裝置，其用于升降所述穿梭部件。

4.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第一移送單元還包括加壓單元，所述加壓單元在所述基板移送至所述切割單元時加壓所述基板的后行端而對準所述基板，

所述加壓單元包括：導軌，其向所述基板的移送方向延長；推進器，其沿著所述導軌移動并加壓所述基板的后行端；推進器升降裝置，其用于升降所述推進器。

5.根據權利要求4所述的基板切割裝置，其特征在于，在所述基板被移送的過程中所述基板的后行端通過所述推進器時，所述推進器比所述基板的移動速度快的速度移動而接觸于所述基板的后行端之后，以與所述基板的移動速度相同的速度移動。

6.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，所述頭部包括：第一切割輪模塊及第二切割輪模塊，其在上下方向上隔開設置，并分別具備切割輪；第一輥子模塊及第二輥子模塊，其在上下方向上隔開設置，并分別具備輥子。

7.根據權利要求6所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第一切割輪模塊的切割輪與所述第二輥子模塊的輥子對齊設置，所述第二切割輪模塊的切割輪與所述第一輥子模塊的輥子對齊設置。

8.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第二移送單元還包括帶子，所述帶子與所述第二板一同向所述基板被移送的方向移動而將所述基板移送。

9.根據權利要求8所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第二移送單元還包括升降裝置，所述升降裝置相對于所述第二板升降所述帶子。

10.根據權利要求8所述的基板切割裝置，其特征在于，所述第二移送單元在所述基板的一部分固定于所述第一板的狀態下將所述基板的另一部分固定于所述第二板，使得所述第二板遠離所述第一板，從而分離所述基板。

11.根據權利要求1所述的基板切割裝置，其特征在于，還包括虛設消除單元，其設置于所述第一移送單元及所述第二移送單元之間，以消除位于所述基板的先行端、或后行端或先行端及后行端的非有效區域。

12.根據權利要求11所述的基板切割裝置，其特征在于，所述虛設消除單元包括：夾具，其用于把持所述基板的非有效區域；夾具驅動裝置，其用于垂直及水平移動所述夾具，并以水平軸及垂直軸為中心旋轉夾具。