[發(fā)明專利]一種玻璃基板減薄蝕刻液在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711338230.9 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108033686A | 公開（公告）日： | 2018-05-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張杰;沈勵(lì);鄭建軍;姚仕軍;夏偉;吳青肖 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津美泰真空技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C03C15/00 | 分類號(hào)： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 12219 | 代理人： | 宋西磊 |
| 地址： | 300000 *** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 玻璃 基板減薄 蝕刻 | ||
1.一種玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：四丁基氟化銨:10-20％，有機(jī)酸:1-10％，無機(jī)酸:1-10％，金屬螯合劑:1-7％，表面活性劑:1-5％，聚乙烯醇(PVA):1-2％，及余量的水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下重量百分比的原料制備得到：四丁基氟化銨:10-20％，有機(jī)酸:5-10％，無機(jī)酸:5-10％，金屬螯合劑:1-7％，表面活性劑:1-5％，聚乙烯醇(PVA):1-2％，及余量的水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：所述金屬螯合劑為氨基三乙酸(NTA)或乙二胺四乙酸(EDTA)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：所述有機(jī)酸為甲酸、乙酸、草酸、丙酸、乙二酸、丁二酸、水楊酸、山梨酸、檸檬酸、蘋果酸、苯甲酸或甲磺酸中的一種或幾種的混合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：所述無機(jī)酸為鹽酸、硝酸、硫酸或磷酸中的一種或幾種的混合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：所述表面活性劑為烷基硫酸鈉、陰離子聚丙烯酰胺、烷基聚氧乙烯醚硫酸鈉、烷基聚氧乙烯醚羧酸鈉、脂肪醇硫酸鈉中的一種或幾種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板減薄蝕刻液，其特征在于：該蝕刻液由包括如下步驟的制備方法制備得到：
(1)將四丁基氟化銨、金屬螯合劑加入水中，攪拌使其完全溶解；
(2)將有機(jī)酸和無機(jī)酸混合后加入步驟(1)得到的水溶液中稀釋；
(3)然后將表面活性劑、聚乙烯醇(PVA)加入步驟(2)得到的溶液中，攪拌均勻。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于天津美泰真空技術(shù)有限公司，未經(jīng)天津美泰真空技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711338230.9/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
