[發(fā)明專利]一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置

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• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN107859830A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設計）人: 賴智華;王曉東;信光成;曾悠兵;蘇長青
• 申請（專利權）人: 九江精密測試技術研究所
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04;F16M11/14;F16M11/18;G01P21/00
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司36115
• 代理人: 謝德珍

1.一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，包括具有微調功能的上平板（1）、具有粗調功能的中平板（2）、安裝底座下平板（3），其特征在于，所述上平板（1）和中平板（2）之間連接1#十字軸機構（4），中平板（2）和下平板（3）之間設有2#十字軸機構（12）、直線驅動器（11），所述上平板（1）上設有1#在線位置測量傳感器（14），中平板（2）上設有2#在線位置測量傳感器（15）、執(zhí)行機構線位移促動器（10）、預緊彈簧（9），所述預緊彈簧（9）一端與上平板（1）邊緣剛性連接，預緊彈簧（9）的另一端與中平板（2）剛性連接，所述的1#十字軸連接機構（4）通過1#連接塊（5a）與上平板（1）剛性連接，1#十字軸連接機構（4）通過2#連接塊（5b）與中平板（2）剛性連接，所述的2#十字軸連接機構（12）通過3#連接塊（13a）與中平板（2）剛性連接，2#十字軸連接機構（12）通過4#連接塊（13b）與下平板（3）剛性連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的直線驅動器（11）設有2個，2個直線驅動器（11）一端按照X、Y正交安裝在下平板（3）上，2個直線驅動器（11）的另一端與中平板（2）球角相連，將直線驅動器（11）的直線運動轉化為中平板（2）的弧線運動，從而實現(xiàn)下平臺的粗調功能。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述執(zhí)行機構線位移促動器（10）設有2個，2個執(zhí)行機構線位移促動器（10）安裝在中平板（2）上，執(zhí)行機構線位移促動器（10）的頂端與球體（7）剛性連接，執(zhí)行機構線位移促動器（10）直線驅動時，將推動球體（7）在導軌滑塊組件（16）上作直線運動，球體（7）頂端與斜塊（6）接觸，從而推動斜塊（7）作圓弧運動，斜塊（7）與上平板（2）剛性連接，進而推動上平板（2）作圓弧運動，所述執(zhí)行機構線位移促動器（10）的步長為50nm-300nm，具有穩(wěn)定性高和精度高等特點，通過該結構實現(xiàn)上平臺的精調功能。

4.根據(jù)權利要求1或3所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的執(zhí)行機構線位移促動器（10）、滑塊導軌組件（16）、球體（7）及斜塊（6）均是按照X、Y正交方位安裝，與直線驅動器（11）安裝位為同方向。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的預緊彈簧（9）安裝在執(zhí)行機構線位移促動器（10）的兩側，對稱安裝，執(zhí)行機構線位移促動器（10）的一端與上平板（1）剛性相連，執(zhí)行機構線位移促動器（10）的另一端與中平板（2）剛性相連，在上平臺調節(jié)過程中始終是處于拉緊狀態(tài)，在上平板（1）及中平板（2）之間提供一個預緊力，保證球體（7）及斜塊（6）時刻處于緊密貼合狀態(tài)，實現(xiàn)上平臺的精調功能。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的1#十字軸連接機構（4）包括十字軸、角接觸球軸承、端蓋；所述的2#十字軸連接機構（12）包括十字軸、角接觸球軸承、端蓋。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的上平板（1）和中平板（2）之間設置兩組執(zhí)行機構線位移促動器（10）、滑塊導軌組件（16）、球體（7）、斜塊（6）及2#在線位置傳感器（15）。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種靜電懸浮加速度計地面試驗測試用精密水平調節(jié)裝置，其特征在于，所述的1#在線位置測量傳感器（14）設有2個，2個1#在線位置測量傳感器（14）通過安裝支架螺栓固定在上平板（2）上，按照X、Y正交方向安裝。