[發(fā)明專利]一種用于浸沒式光刻的超純水脫氣裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711337642.0 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107879517A | 公開（公告）日： | 2018-04-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 付新;凌杰;金達(dá);徐寧 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C02F9/04 | 分類號(hào)： | C02F9/04;C02F103/04 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市臨安市青山湖*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 浸沒 光刻 超純水 脫氣 裝置 | ||
1.一種用于浸沒式光刻的超純水脫氣裝置，包括有第一真空泵、第一真空壓力變送器、第一氣液分離罐、以及第一脫氣膜的前級(jí)脫氣系統(tǒng)；有氫氣接入源、第四電磁閥、氣體壓力控制器、第三電磁閥、第一電磁閥以及催化除氧器的催化除氧系統(tǒng)；有第二脫氣膜、第二真空壓力變送器、第二真空泵第二氣液分離罐、氮?dú)饨尤朐础⒌谌姶砰y、氣體流量控制器的后級(jí)脫氣系統(tǒng)；其特征在于：所述的前級(jí)脫氣系統(tǒng)中第一脫氣膜下端入水口作為第一超純水入口，第一脫氣膜上端出水口為第一超純水出口與催化除氧系統(tǒng)中催化除氧器的第二超純水入口連接；催化除氧器的出水口接后級(jí)脫氣系統(tǒng)中第二脫氣膜的入水口，第二脫氣膜的出水口作為第二超純水出口輸出經(jīng)脫氣后的超純水；
所述的第一脫氣膜氣相側(cè)的上下兩個(gè)出氣口連成一路后通過第一氣液分離罐與第二真空泵連接，第一真空泵與第一氣液分離罐出氣口之間設(shè)置有第一真空壓力變送器；第二脫氣膜氣相側(cè)的上出氣口通過第二氣液分離罐與第一真空泵連接，第二脫氣膜氣相側(cè)的上出氣口與第二氣液分離罐的入氣口之間設(shè)置有第二真空壓力變送器；第二脫氣膜氣相側(cè)的下氣體通道接氣體流量控制器的出氣口，氮?dú)饨尤朐赐ㄟ^第二電磁閥接氣體流量控制器的入氣口；
所述的氫氣接入源通過第四電磁閥接氣體壓力控制器的入氣口，氣體壓力控制器的出氣口與下入氣口連成一路通道后接第三電磁閥的入氣口，第三電磁閥的出氣口與上入氣口連成一路通道后通過第一電磁閥接第一氣液分離罐。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于浸沒式光刻的超純水脫氣裝置，其特征在于：所述的催化除氧器包括聚丙烯中空纖維膜、載鈀離子樹脂、精制離子樹脂、微孔網(wǎng)篩以及外殼；外殼上下兩側(cè)頂端設(shè)置有上入氣口和下入氣口，外殼上表面設(shè)置有第二超純水入口；上入氣口和下入氣口一端伸出外殼側(cè)面，另一端分別與聚丙烯中空纖維膜的兩端連接；在聚丙烯中空纖維膜四周從下到上依次填充微孔網(wǎng)篩、精制離子樹脂和載鈀離子樹脂(這三層的厚度是否有要求)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于浸沒式光刻的超純水脫氣裝置，其特征在于：所述的氮?dú)饬髁繛?-10L/min，真空度為50-70mbar。
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