[發明專利]激光裝置

在審

• 申請號: 201711336717.3
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN108262565A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/364
• 分類號: B23K26/364;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供激光裝置，其能夠為了使通過了波長轉換單元后的激光光線的光強度分布接近適當的高斯分布(正態分布)而進行整形。該激光裝置(20)至少包含：保持單元(22)，其對被加工物(晶片(10))進行保持；以及激光光線照射單元(24)，其對保持單元所保持的被加工物照射激光光線，其中，該激光光線照射單元至少包含：激光振蕩器(24b)；波長轉換單元(24c)，其對激光振蕩器所振蕩出的激光光線的波長進行轉換；聚光器(24a)，其將利用波長轉換單元轉換了波長的激光光線會聚于保持單元所保持的被加工物；以及光纖(FB)，其配設在波長轉換單元與聚光器之間，該光纖構成為對通過了該波長轉換單元而發生了紊亂的激光光線的高斯分布進行整形。

技術領域

本發明涉及激光裝置，其能夠使從激光振蕩器振蕩并通過了波長轉換單元之后的激光光線的光強度分布成為適當的高斯分布。

背景技術

由分割預定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個器件的晶片通過激光裝置照射激光光線而被分割成各個器件，用于移動電話、個人計算機等電氣設備。

激光裝置至少包含：保持單元，其對被加工物進行保持；激光光線照射單元，其對該保持單元所保持的被加工物照射激光光線。激光光線照射單元包含：激光光線振蕩器，其振蕩出激光光線；聚光器，其對該激光光線振蕩器所振蕩出的激光光線進行會聚并使激光光線會聚于保持單元所保持的被加工物；以及光學系統，其配設在該激光光線振蕩器與該聚光器之間，至少將激光光線引導至規定的光路，該激光裝置能夠對被加工物實施期望的加工(例如，參照專利文獻1)。

另外，在適合被加工物的加工的激光光線的波長為355nm、266nm等紫外光的情況下，光學系統的損傷比較激烈，因此為了減輕光學系統的損傷，本申請人提出了一種激光裝置，其中，使激光光線振蕩器所振蕩出的激光光線的波長為施加至光學系統的負擔較少的1064nm的紅外光，在聚光器的近前配設波長轉換單元，從而轉換成355nm、266nm等的紫外光(參照專利文獻2)。另外，作為波長轉換單元，可以采用作為發揮波長轉換功能的非線性晶體的CLBO晶體、BBO晶體、LBO晶體以及KTP晶體等，可以根據想要得到的波長，適當組合該非線性晶體，從而實現各種波長轉換方式(SHG、FHK、THG等)。

專利文獻1：日本特開2006-108478號公報

專利文獻2：日本特許第5964621號公報

根據上述的激光裝置，雖然能夠得到期望的波長的激光光線，但是存在下述問題，通過波長轉換單元轉換而得的激光光線相對于設計上設想的理想的高斯分布發生紊亂，無法得到設計上設想的激光加工強度，從而即使直接照射至被加工物也無法實施穩定的加工。

另外，關于構成上述波長轉換單元的非線性晶體，當對相同部位持續照射激光光線時，照射部位發生劣化，因此為了能夠長期進行使用，需要適當變更激光光線的照射位置。但是，會產生下述問題：關于實現波長轉換的非線性晶體，由于激光光線照射的位置不同，其晶體構造未必均勻，每當變更照射部位時，進行了波長轉換之后的光強度分布發生變化，在該意義上也阻礙穩定的加工。

發明內容

本發明是鑒于上述事實而完成的，其主要的技術課題在于提供一種激光裝置，其能夠為了使通過了波長轉換單元之后的激光光線的高斯分布接近理想的高斯分布而進行整形。

為了解決上述主要的技術課題，根據本發明，提供激光裝置，該激光裝置至少包含：保持單元，其對被加工物進行保持；以及激光光線照射單元，其對該保持單元所保持的被加工物照射激光光線，其中，該激光光線照射單元至少包含：激光振蕩器；波長轉換單元，其對該激光振蕩器所振蕩出的激光光線的波長進行轉換；聚光器，其將利用該波長轉換單元轉換了波長的激光光線會聚于該保持單元所保持的被加工物；以及光纖，其配設在該波長轉換單元與該聚光器之間，該光纖對通過了該波長轉換單元而發生了紊亂的激光光線的高斯分布進行整形。