[發明專利]TFT-LCD減薄鍍膜生產線在審
| 申請號： | 201711336540.7 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN109957777A | 公開（公告）日： | 2019-07-02 |
| 發明（設計）人： | 黃樂;祝海生;陳立;凌云;黃夏;孫桂紅;黃國興 | 申請（專利權）人： | 湘潭宏大真空技術股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍍膜生產線 磁控濺射 減薄 傳送系統 旋轉陰極 傳送室 工藝室 緩沖室 摩擦傳動裝置 鍍膜效果 出口室 磁導向 進口室 濺射 進口 出口 | ||
【權利要求書】：
1.一種TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，依次包括進口室、進口緩沖室、進口傳送室、工藝室、出口傳送室、出口緩沖室和出口室，所述工藝室包括多個磁控濺射腔，所述磁控濺射腔設有旋轉陰極，多個所述磁控濺射腔的旋轉陰極不全位于同一側；所述生產線還包括傳送系統，所述傳送系統包括磁導向摩擦傳動裝置。
2.根據權利要求1所述的TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，至少一個所述磁控濺射腔設有移動磁場陰極。
3.根據權利要求1所述的TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，還包括真空泵，所述真空泵為分子泵，所述分子泵安裝于門板上。
4.根據權利要求2所述的TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，所述磁導向摩擦傳動裝置包括多個傳動輪和傳動帶，所述傳動輪通過傳動帶帶動轉動，基片架的底部設有滾軸，所述滾軸位于傳動輪的輪槽內，所述基片架通過傳動輪的滾動在磁控濺射腔內移動。
5.根據權利要求1所述的TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，所述磁控濺射腔設有惰性氣體管道和氧氣管道，所述惰性氣體管道為多孔電極形成均勻的噴射式氣流管道。
6.根據權利要求1所述的TFT-LCD減薄鍍膜生產線，其特征在于，所述磁控濺射腔內設有加熱器，所述加熱器位于磁控濺射腔的底板，所述加熱器與基片架之間設有鈦板。
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