[發明專利]一種多鐵性異質結薄膜的制備方法有效
| 申請號： | 201711334411.4 | 申請日： | 2017-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN108022750B | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發明（設計）人： | 李靜;彭曉領;楊艷婷;徐靖才;王攀峰;金紅曉;金頂峰;洪波;王新慶;葛洪良 | 申請（專利權）人： | 中國計量大學 |
| 主分類號： | H01F41/14 | 分類號： | H01F41/14;H01F41/20;H01F41/18;H01F41/30 |
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| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多鐵性異質結 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種多鐵性異質結薄膜的制備方法，其特征在于具體步驟為：
1）薄膜制備
在結構穩定的鐵電薄膜襯底上通過脈沖激光沉積、磁控濺射、或分子束外延方法復合鐵磁性薄膜，獲得鐵磁/鐵電異質結薄膜；
所述的鐵電薄膜襯底為PMN-PT、BFO、PZT、BTO、PTO、PZN-PT中的一種；
所述的鐵磁性薄膜為Fe、Co、Ni、CoFe、CoFeB、FeNi、FeSi、FeSiAl、FeAl中的一種；
2）界面調控
將步驟1）制備的鐵磁/鐵電異質結薄膜放入熱處理爐中，以恒定的速率通入含氮氣體，在150~600℃溫度下滲氮處理0.5~48h；降溫，隨爐冷卻至室溫，取出樣品；
所述的結構穩定的鐵電薄膜在熱處理過程中結構不受影響，而所述的鐵磁性薄膜中會滲入氮原子，生成間隙固溶體或新相，導致晶格膨脹，在界面處產生應力；
所述的含氮氣體為氮氣、氨氣、氮氣+氫氣、氨氣+氫氣中的一種。
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