[發明專利]基板裝卸裝置及其控制裝置、鍍覆裝置、存儲介質

有效

• 申請號: 201711332926.0
• 申請日: 2017-12-07
• 公開（公告）號: CN108221019B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 橫山俊夫;向山佳孝;對馬拓也
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;C25D17/00;H01L21/687
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 張麗穎

1.一種基板裝卸裝置，利用基板保持器的第一保持部件及第二保持部件對基板進行夾持來保持所述基板，該基板裝卸裝置的特征在于，

具備第一保持器保持裝置以及第二保持器保持裝置，

該第一保持器保持裝置以第一姿勢對所述第一保持部件進行支承，

該第二保持器保持裝置能夠相對于第一保持器保持裝置接近和離開地直行移動，能夠以所述第一姿勢和第二姿勢對所述第二保持部件進行保持，該第二姿勢與所述第一姿勢大致正交，該第二保持器保持裝置以所述第一姿勢將所述第二保持部件按壓于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。

2.如權利要求1所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第一姿勢是相對于所述基板裝卸裝置的設置面大致垂直的姿勢。

3.如權利要求1或2所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

還具備支承裝置，

該支承裝置具有第一支承板和固定機構，

該第一支承板用于在所述第二保持器保持裝置的相反側對所述第一保持部件進行支承，

該固定機構用于將所述第一保持部件保持于所述第一支承板。

4.如權利要求3所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述支承裝置具有多根連桿，

該多根連桿與所述第一支承板中的支承有所述第一保持部件的一側的相反側的面連結，

通過所述多根連桿的移動，所述第一支承板能夠進行移動。

5.如權利要求3所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述固定機構具有按壓部件，該按壓部件能夠在與所述第一保持部件的面重疊的位置和與所述第一保持部件的面不重疊的位置之間旋轉。

6.如權利要求3所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第一保持部件具有臂部，

所述第一保持器保持裝置還具有臂接收部，

該臂接收部對所述第一保持部件的臂部進行支承，

所述第一保持部件懸架于所述臂接收部。

7.如權利要求6所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述臂接收部具有定位銷，

該定位銷能夠在用于與定位孔卡合的位置以及與所述定位孔不卡合的位置之間移動，

該定位孔設于所述第一保持部件的所述臂部。

8.如權利要求6所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述臂接收部具有通電確認裝置，

該通電確認裝置用于對經由所述第一保持部件的連接器的所述基板的電導通進行檢查，

所述通電確認裝置對所述連接器的多個外部連接接點對的外部連接接點間的電阻值進行測定。

9.如權利要求3所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第一支承板構成為矩形狀且對多邊形形狀的所述第一保持部件進行支承。

10.如權利要求1所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第二保持器保持裝置具有第一促動器，

該第一促動器用于使設于所述第一保持器保持裝置所支承的所述第一保持部件的夾緊件動作，使所述第二保持部件保持于所述第一保持部件。

11.如權利要求10所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第一促動器具有第一棒狀部件，

該第一棒狀部件在與第一支承板垂直的方向上移動，

通過該第一棒狀部件對與所述夾緊件連結的桿進行按壓，使所述第一保持部件的所述夾緊件繞與所述第一支承板平行的軸旋轉。

12.如權利要求11所述的基板裝卸裝置，其特征在于，

所述第一棒狀部件是由氣缸驅動的活塞。