[發明專利]制備碳納米管薄膜的方法有效
| 申請號： | 201711332304.8 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN109913861B | 公開（公告）日： | 2021-07-30 |
| 發明（設計）人： | 許海濤 | 申請（專利權）人： | 北京華碳元芯電子科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C20/06 | 分類號： | C23C20/06 |
| 代理公司： | 北京庚致知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李偉波;韓德凱 |
| 地址： | 101300 北京市順*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 納米 薄膜 方法 | ||
1.一種制備碳納米管薄膜的方法，其特征在于，包括：
使碳納米管溶液與基底的表面相接觸，并使所述碳納米管溶液相對于所述基底的所述表面沿設定方向移動；以及
將所述基底的所述表面與所述碳納米管溶液分離，并對所述基底的所述表面進行干燥處理，以在所述基底的所述表面上形成碳納米管薄膜，
其中，在所述碳納米管溶液移動時通過控制所述碳納米管溶液的移動速度，來確定形成的所述碳納米管薄膜中碳納米管的取向程度，在所述基底的表面上形成的所述碳納米管薄膜在所述碳納米管溶液的移動方向上是擇優取向的，
所述基底設置在流體連通的多個容器中，在每個容器中均設有待沉積碳納米管薄膜的基底，從前一容器流出的碳納米管溶液能夠流入與其流體連通的后一容器，從而允許碳納米管溶液能夠在多個容器中循環使用，并且在每個容器設置的基底的表面均能夠形成有碳納米管薄膜。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，使所述碳納米管溶液相對于所述基底的所述表面沿設定方向移動的步驟包括：使所述碳納米管溶液相對于所述基底的所述表面以設定速率沿設定方向移動。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，
所述基底為剛性基底，以及
使所述碳納米管溶液相對于所述基底的所述表面沿設定方向移動的步驟包括：使所述碳納米管溶液形成為在所述基底的所述表面上流動的連續流。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，使所述碳納米管溶液形成為在所述基底的所述表面上流動的連續流的步驟包括：使所述碳納米管溶液從容器的第一端流入該容器，并從該容器的第二端流出該容器，
其中，所述基底設置在所述容器中。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述碳納米管溶液為單壁碳納米管溶液。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述碳納米管薄膜的密度和所述碳納米管薄膜中碳納米管的取向程度、與所述碳納米管溶液的濃度和相對移動速度相關。
7.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述剛性基底包括：硅基底、玻璃基底、塑料基底、或金屬基底。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C20-00 通過固態覆層化合物抑或覆層形成化合物懸浮液分解且覆層中不留存表面材料反應產物的化學鍍覆
C23C20-02 .鍍金屬材料
C23C20-06 .鍍金屬材料以外的無機材料
C23C20-08 ..鍍化合物、混合物或固溶體，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..鍍金屬
