[發(fā)明專利]基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711331077.7
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN109916507B
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 李欽明;余永;楊家岳;丁洪利;張未卿;楊學明
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42
• 代理公司: 沈陽晨創(chuàng)科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 張晨

1.基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述測量方法基于測量裝置實現(xiàn)，所述測量裝置包括：

真空件，所述真空件內(nèi)具有真空腔(11)，所述真空腔(11)的壁上設有法蘭接口，通過法蘭接口安裝有真空發(fā)生器(13)、真空測量組件(12)和充氣裝置(14)；

離子傳輸系統(tǒng)，所述離子傳輸系統(tǒng)將待測光電離出的離子豎直傳遞至離子位置探測器處；

離子位置探測器，所述離子位置探測器將離子位置轉(zhuǎn)換為圖像采集系統(tǒng)可采集的信號，所述離子位置探測器與離子傳輸方向保持垂直；

光學傳輸系統(tǒng)，所述光學傳輸系統(tǒng)可以屏蔽外界雜散光可能引入的雜信號對測量結(jié)果的影響；

圖像采集系統(tǒng)，所述圖像采集系統(tǒng)用于采集和處理信號；

數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用來擬合采集到的信號，確定離子信號的橫向分布，進而推導出待測光的橫向分布；

所述測量方法為：

將真空紫外光入射到測量裝置中，所述測量裝置中充入微量氣體，氣體種類由待測波長決定；在離子傳輸系統(tǒng)上加一定的偏壓，形成一勻強電場，勻強電場把真空紫外光電離氣體獲得的正離子拉出電離區(qū)域，朝離子位置探測器飛行并撞到離子位置探測器下表面，離子位置探測器會在熒光屏上顯示出該離子的對應位置，用圖像采集系統(tǒng)在上表面觀察可以看到離子撞擊位置，通過調(diào)節(jié)圖像采集系統(tǒng)曝光時間可以獲得清晰的橫向分布信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述真空發(fā)生器(13)為分子泵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述真空測量組件(12)為真空規(guī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述充氣裝置(14)為微漏閥或微量氣體流量計。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述離子傳輸系統(tǒng)包括平行電極板，所述平行電極板由正電壓極板(21)和負電壓極板(22)組成；所述正電壓極板(21)為簡單的金屬板，所述負電壓極板(22)為中間區(qū)域有一定透過率的柵網(wǎng)結(jié)構(gòu)，所述正電壓極板(21)和負電壓極板(22)通過真空引線裝置將導線引出真空腔(11)外與電源(23)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述離子位置探測器由兩片微通道板(31)和一片磷光屏(32)組成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述光學傳輸系統(tǒng)為內(nèi)壁黑色的遮光筒(41)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于離子成像的真空紫外光橫向分布在線測量方法，其特征在于，所述圖像采集系統(tǒng)包括CCD(51)和計算機(52)，所述計算機(52)內(nèi)設有圖像采集卡。