[發(fā)明專利]一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)及其作業(yè)方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711330659.3
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN107841725A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張仰平;王貝;劉銳;程明;張超群;葛治亮
• 申請（專利權(quán)）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙)31219
• 代理人: 韓雙宏

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)及其作業(yè)方法。

背景技術(shù)

太陽能作為取之不盡用之不竭的新能源，最近幾年得到了長足的進步與發(fā)展。CIGS薄膜太陽能電池是全球光伏領(lǐng)域的開創(chuàng)性成果，是新一代最具競爭力的商業(yè)化薄膜太陽能電池，具有穩(wěn)定性好、抗輻照性能好、成本低、效率高等優(yōu)點。CIGS產(chǎn)線需要經(jīng)過很多工藝過程，其核心設(shè)備是鍍膜設(shè)備，包括磁控濺射鍍膜和蒸發(fā)鍍膜等方法，這都需要在真空環(huán)境下進行。其中銅銦鎵三元金屬薄膜磁控濺射生產(chǎn)線是整個工藝實現(xiàn)的基礎(chǔ)。

對于銅銦鎵三元金屬薄膜磁控濺射生產(chǎn)線，規(guī)定兩片玻璃原片進入進口腔室的時間間隔為機械節(jié)拍。銅銦鎵生產(chǎn)線的產(chǎn)能和機械節(jié)拍息息相關(guān)。一般一個機械節(jié)拍包括很多動作，比如進口腔室破空、門閥打開、玻璃傳輸、門閥關(guān)閉、進口室抽真空等等。為了提高經(jīng)濟效益，加快機械節(jié)拍就成了關(guān)鍵手段。經(jīng)過分析可以得出，機械動作時間很短，進一步壓縮的可能性比較小。抽真空的時間占到整個節(jié)拍的50％左右，所以怎么提高抽真空的時間就成了關(guān)鍵手段。

一般為了達到快速抽空的目的，進口腔室的真空泵一般都是常開的。所以在進口腔室處于大氣狀態(tài)的時候，真空泵一直在做無用功，浪費了大量能源。

以往加快抽空時間主要從兩個方面著手，一個是減少腔體容積，經(jīng)過技術(shù)的提高，這一塊基本已經(jīng)做到極限，提高的空間不大。另一個方法是配置更多的真空泵或者配置抽速更快的真空泵。這不但會大大提高固定資產(chǎn)的投入，同時受到真空泵的限制，沒有更快的泵可選。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)及其作業(yè)方法，能夠提高生產(chǎn)節(jié)奏，提高生產(chǎn)效率。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)，采用如下技術(shù)方案：一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)，包括進料腔室和緩沖腔室，進料腔室具有進料門閥，進料腔室與緩沖腔室之間設(shè)有隔離門閥；進料腔室上連接有第一連接管和第二連接管，第一連接管上連接有抽真空裝置和第一截止閥，第一截止閥位于抽真空裝置與進料腔室之間，第二連接管上連接有真空罐和第二截止閥，第二截止閥位于進料腔室與真空罐之間，抽真空裝置與真空罐連接有第三連接管，第三連接管上設(shè)有第三截止閥；所述第一連接管上連接有第一真空計，第一真空計位于第一截止閥和抽真空裝置之間，所述進料腔室上連接有第二真空計，所述真空罐上連接有第三真空計。

優(yōu)選地，所述抽真空裝置包括羅茨泵與旋片泵，羅茨泵連接于旋片泵與第一截止閥之間。

優(yōu)選地，所述第一連接管上連接有第一破真空閥，第一破真空閥上連接有第一消音器；第一破真空閥位于抽真空裝置與第一截止閥之間。

優(yōu)選地，所述第一真空計位于第一破真空閥和抽真空裝置之間。

優(yōu)選地，所述進料腔室上連接有第二破真空閥，第二破真空閥上連接有第二消音器。

優(yōu)選地，所述真空罐上連接有第三破真空閥，第三破真空閥上連接有第三消音器。

優(yōu)選地，所述第一截止閥位于抽真空裝置和真空罐之間的管道上，第二截止閥位于真空罐和進料腔室之間的管道上。

與本發(fā)明的一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)的作業(yè)方法，采用如下技術(shù)方案：一種用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)的作業(yè)方法，利用上述技術(shù)方案或其任一優(yōu)選的技術(shù)方案所述的用于生產(chǎn)太陽能鍍膜玻璃的抽真空系統(tǒng)進行作業(yè)，包括如下作業(yè)步驟：1)初始狀態(tài)下，第一截止閥和第二截止閥關(guān)閉，第三截止閥打開，抽真空裝置對真空罐進行抽真空；隔離門閥處于關(guān)閉狀態(tài)；2)將進料門閥打開，將待鍍膜玻璃送入進料腔室，然后再將進料門閥關(guān)閉；3)關(guān)閉第三截止閥，并打開第一截止閥和第二截止閥，抽真空裝置通過第一連接管對進料腔室抽真空，并且進料腔室中的氣體通過第二連接管被吸入真空罐；4)第一真空計測得壓力值為P1，第二真空計測得壓力值為P2，第三真空計測得壓力值為P3，定義P2和P3的差值為P23，當(dāng)P23達到設(shè)定值△P時，關(guān)閉第二截止閥；5)抽真空裝置繼續(xù)對進料腔室抽真空；當(dāng)?shù)诙婵沼嫓y得進料腔室內(nèi)壓力達到設(shè)定值P2’時，關(guān)閉第一截止閥以停止對進料腔室抽真空；并打開第三截止閥以使抽真空裝置對真空罐進行抽真空；6)打開隔離門閥，將待鍍膜玻璃送入緩沖腔室，然后再將隔離門閥關(guān)閉。