[發明專利]偏光板及其制造方法、以及光學設備

有效

• 申請號: 201711328658.5
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN108254822B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 武田吐夢
• 申請（專利權）人: 迪睿合株式會社
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30
• 代理公司: 北京摯誠信奉知識產權代理有限公司 11338
• 代理人: 李延虎;王永輝

本發明的課題在于提供具有高透過率特性并且反射率特性的控制優異的偏光板及其制造方法、以及具備該偏光板的光學設備。本發明的解決方法是一種偏光板(1)，其是具有線柵結構的偏光板(1)，具備透明基板(10)、和以比使用帶域的光的波長短的間距排列于透明基板(10)上且在預定方向上延伸的格子狀凸部(11)，格子狀凸部(11)從透明基板(10)側依次具有反射層(13)、介電體層(14)和吸收層(15)，反射層(13)的寬度小于介電體層(14)的寬度，形成于格子狀凸部(11)的頂端的光柵頂端部(17)具有從預定方向觀察時側面按照越靠近頂端側寬度越窄的方向傾斜的尖頭形狀。

技術領域

本發明涉及偏光板及其制造方法、以及光學設備。

背景技術

以往，在線柵型的偏光板中，已知由于與使用帶域的光的波長相對應的間距與光柵寬度(光柵的排列方向的寬度)的關系，原理上越靠近短波長側光的透過率越降低。尤其，在液晶放映機中所使用的可見光區域(紅色帶域：波長λ＝600～680nm、綠色帶域：波長λ＝520～590nm、藍色帶域：波長λ＝430～510nm)中，藍色帶域的透過率最低。

對此，已知通過使偏光板的光柵寬度變窄可提高透過率。然而，實際上，從制造偏差變大等觀點出發，形成將光柵寬度變窄的圖案難度很大，難以維持作為偏光板的可靠性。

因此，本申請人提出了一種無機偏光板，其是在透明基板上依次具有多個線狀金屬層、多個線狀介電體層、和具有光吸收作用的多個線狀光吸收層的線柵型的無機偏光板，與線狀金屬層的長度方向正交的截面中的線狀金屬層的截面形狀為以基板側為下底、以線狀介電體層側為上底的梯形，并且下底的長度大于上底的長度(例如，參照專利文獻1)。根據該專利文獻1的無機偏光板，可通過線狀金屬層的截面形狀來獲得優異的偏光特性。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-45345號公報

發明內容

發明所要解決的課題

然而，近年來，要求具有更高的透過率特性并且反射率特性的控制優異的偏光板。本發明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于，提供具有高透過率特性并且反射率特性的控制優異的偏光板及其制造方法、以及具備該偏光板的光學設備。

用于解決課題的方法

為了實現上述目的，本發明提供一種偏光板(例如，后述的偏光板1)，其是具有線柵結構的偏光板，具備透明基板(例如，后述的透明基板10)、和以比使用帶域的光的波長短的間距排列于上述透明基板上且在預定方向上延伸的格子狀凸部(例如，后述的格子狀凸部11)，上述格子狀凸部從上述透明基板側依次具有反射層(例如，后述的反射層13)、介電體層(例如，后述的介電體層14)和吸收層(例如，后述的吸收層15)，上述反射層的寬度小于上述介電體層的寬度，形成于上述格子狀凸部的頂端的光柵頂端部(例如，后述的光柵頂端部17)具有從上述預定方向觀察時側面按照越靠近頂端側寬度越窄的方向傾斜的尖頭形狀。

上述光柵頂端部由上述介電體層和上述吸收層構成，上述光柵頂端部的最大寬度(例如，后述的光柵寬度b)可以為35～45nm，上述反射層的寬度相對于上述光柵頂端部的最大寬度可以為52～72％。

將上述光柵頂端部的側面相對于上述透明基板的傾斜角設為θ、將從上述預定方向觀察時的上述光柵頂端部的高度設為a、將上述光柵頂端部的最大寬度設為b、設θ₀＝arctan(2a/b)時，滿足2/3≤a/b≤8/7并且滿足θ₀≤θ90度，上述傾斜角θ可以選自使可見光區域的預定波長的光在吸收軸方向的反射率成為10％以下的角度范圍。

上述傾斜角θ被規定為從上述預定方向觀察時上述光柵頂端部的高度方向的中心位置的上述光柵頂端部的上述側面的切線的傾斜角，其角度范圍可以為θ≤80度。