[發明專利]線性電磁波等離子體源及使用其的等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201711328443.3
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN108243550B
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 劉鉉鐘
• 申請（專利權）人: 韓國基礎科學支援研究院
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 王剛;龔敏

1.一種等離子體處理裝置，用于在真空腔內產生等離子體，其特征在于，所述等離子體處理裝置包括：

所述真空腔；

長的圓筒形波導管，所述圓筒形波導管包括沿著長度方向形成的2個以上的狹縫，所述狹縫相對于所述長度方向傾斜形成大于0度且小于90度的角并且所述狹縫相互隔開一距離；

電介質層，所述電介質層形成密封層，以整層地與所述圓筒形波導管的外部面相接觸的方式包圍所述圓筒形波導管以進行密封，并且所述電介質層的厚度設置為承受所述圓筒形波導管內部和外部的所述真空腔之間的壓力差；以及

第一磁控管及第二磁控管，用于向所述圓筒形波導管的兩端供給電磁波，

其中，所述圓筒形波導管插入到所述真空腔中以使得所述狹縫和所述電介質層位于所述真空腔內部。

2.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，

所述等離子體處理裝置還包括：

第一模式轉換器及第二模式轉換器，位于所述圓筒形波導管的兩端，以能夠進行電磁波傳輸的方式分別相連接，用于將直角波導管的模式切換為圓筒形波導管模式；以及

第一直角波導管及第二直角波導管，以能夠進行電磁波傳輸的方式分別與所述第一模式轉換器及第二模式轉換器相連接，

所述第一磁控管及第二磁控管向所述第一直角波導管及第二直角波導管提供電磁波。

3.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述狹縫以1/2 λg波長的倍數距離相互隔開。

4.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，單個圓筒形波導管橫向貫通所述真空腔的上端。

5.根據權利要求2所述的等離子體處理裝置，其特征在于，

所述第一直角波導管及第二直角波導管為TE10波導管，

所述第一模式轉換器及第二模式轉換器為用于從TE10切換為TE11模式的轉換器，

所述圓筒形波導管為TE11波導管。

6.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其中，所述圓筒形波導管橫向貫通所述真空腔的上端，以使得多個所述狹縫朝向所述真空腔的下端的方式設置。

7.根據權利要求6所述的等離子體處理裝置，其特征在于，在所述狹縫的周圍形成等離子體。

8.根據權利要求6所述的等離子體處理裝置，其特征在于，所述等離子體處理裝置為卷對卷裝置。

9.根據權利要求8所述的等離子體處理裝置，其特征在于，2個以上的所述圓筒形波導管在所述真空腔的上端以并列的方式沿著卷對卷移動方向設置。