[發明專利]納米多孔銅互連層結構及其制備方法

在審

• 申請號: 201711327240.2
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN108091633A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 張昱;崔成強;曹萍;楊斌;高健;陳新;楊海東
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學;佛山市南海區廣工大數控裝備協同創新研究院
• 主分類號: H01L23/498
• 分類號: H01L23/498;H01L21/60
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張雪嬌;趙青朵

1.一種納米多孔銅互連層結構，其特征在于，包括：

基材；

設置在基材上的金屬凸起；

與設置在所述金屬柱凸起表面的納米多孔銅層；

所述納米多孔銅層由銅合金層經酸溶液腐蝕形成。

2.根據權利要求1所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述納米多孔銅層的厚度為1～100μm。

3.根據權利要求1所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述銅合金層為銅錫合金層和/或銅鋅合金層。

4.根據權利要求3所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述銅錫合金層中錫的含量為銅錫合金層質量的10％～40％；所述銅鋅合金層中鋅的含量為銅鋅合金層質量的10％～40％。

5.根據權利要求1所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述酸溶液選自硝酸、甲基磺酸、硫酸、草酸與醋酸中的一種或多種。

6.根據權利要求1所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述酸溶液中酸的濃度為5～20wt％。

7.根據權利要求1所述的納米多孔銅互連層結構，其特征在于，所述納米多孔層中孔隙的直徑為20～200nm。

8.一種納米多孔銅互連層結構的制備方法，其特征在于，包括：

在設置在基材上的金屬凸起上制備銅合金層，然后浸泡在酸溶液中進行腐蝕，得到納米多孔銅互連層結構。

9.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述腐蝕至酸溶液中無明顯氣泡產生為止。

10.根據權利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述金屬凸起由銅形成。