[發(fā)明專(zhuān)利]厚度檢測(cè)方法和裝置、以及厚度圖像傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711326813.X
• 申請(qǐng)日: 2017-12-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108413881B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戚務(wù)昌;張凱;曲傳偉;杜忺峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/06
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡

1.一種厚度檢測(cè)方法，其特征在于，所述厚度檢測(cè)方法包括：

獲取厚度圖像傳感器中每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)待測(cè)物的電信號(hào)值，其中，所述厚度圖像傳感器包括多個(gè)感應(yīng)電極素子；

獲取每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值，其中，每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值與對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子的感度值相關(guān)，不同厚度的膠帶得到的所述校正參數(shù)值不同；

分別計(jì)算每個(gè)感應(yīng)電極素子的無(wú)膠帶圖像數(shù)據(jù)V_n(i,j)、有膠帶圖像數(shù)據(jù)的V_t(i,j)的均值A(chǔ)veV_n(j)、AveV_t(j)；對(duì)所述有膠帶圖像數(shù)據(jù)的均值與所述無(wú)膠帶圖像數(shù)據(jù)均值做差，得到感度AveDev(j)＝AveV_t(j)-AveV_n(j)，其中，i為圖像數(shù)據(jù)的行數(shù)，j為圖像數(shù)據(jù)的列數(shù)；

通過(guò)如下公式計(jì)算每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值K(j)：K(j)＝AveDev(q)/AveDev(j)，或，K(j)＝預(yù)設(shè)目標(biāo)值/AveDev(j)，其中，AveDev(q)為所有感應(yīng)電極素子感度值的最大值，q表示最大值發(fā)生對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子所處的列數(shù)；

通過(guò)每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值對(duì)對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子感應(yīng)所述待測(cè)物的電信號(hào)值進(jìn)行校正，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的厚度像素值；

通過(guò)以下方式根據(jù)所述厚度像素值計(jì)算所述待測(cè)物的厚度D：

D＝F(x)·D(λ)/預(yù)設(shè)目標(biāo)值，

其中，F(xiàn)(x)為所述厚度像素值，D(λ)為標(biāo)準(zhǔn)膠帶厚度，λ＝1，2，3，...n，n為大于或等于1的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，獲取每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值包括：

獲取每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)第一厚度的樣本得到的第一電信號(hào)值；

獲取每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)第二厚度的樣本得到的第二電信號(hào)值；

計(jì)算每個(gè)感應(yīng)電極素子的所述第一電信號(hào)值和所述第二電信號(hào)值之差，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的感度值；

對(duì)所述多個(gè)感應(yīng)電極素子的感度值進(jìn)行歸一化，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，對(duì)所述多個(gè)感應(yīng)電極素子的感度值進(jìn)行歸一化包括：

通過(guò)歸一化數(shù)值對(duì)所述多個(gè)感應(yīng)電極素子的感度進(jìn)行歸一化，其中，所述歸一化數(shù)值為所述多個(gè)感應(yīng)電極素子的感度值中的最大值或者預(yù)設(shè)數(shù)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，獲取每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)目標(biāo)厚度的樣本得到的電信號(hào)值包括：

通過(guò)所述厚度圖像傳感器檢測(cè)多次所述目標(biāo)厚度的樣本；

確定每個(gè)感應(yīng)電極素子每次感應(yīng)所述目標(biāo)厚度的樣本得到的電信號(hào)值，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的多個(gè)電信號(hào)值；

計(jì)算每個(gè)感應(yīng)電極素子的多個(gè)電信號(hào)值的平均值，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)所述目標(biāo)厚度的樣本的電信號(hào)值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，通過(guò)每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值對(duì)對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子感應(yīng)所述待測(cè)物的電信號(hào)值進(jìn)行校正包括：

根據(jù)所述厚度圖像傳感器在空掃情況下每個(gè)感應(yīng)電極素子的電信號(hào)值確定對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子的空掃電信號(hào)值；

將每個(gè)感應(yīng)電極素子感應(yīng)所述待測(cè)物的電信號(hào)值與所述空掃電信號(hào)值相減，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的待校正電信號(hào)值；

通過(guò)每個(gè)感應(yīng)電極素子的校正參數(shù)值對(duì)對(duì)應(yīng)感應(yīng)電極素子的待校正電信號(hào)值進(jìn)行校正，得到每個(gè)感應(yīng)電極素子的厚度像素值。