[發明專利]離子源及離子注入裝置有效
| 申請號： | 201711320176.5 | 申請日： | 2017-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN108054071B | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發明（設計）人： | 井內裕 | 申請（專利權）人： | 日新離子機器株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/244;H01J37/30 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 蘇卉;高培培 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子源 離子 注入 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子源，在腔室內部生成等離子體并從該等離子體引出離子束，所述離子源具有：
腔室，呈在一方向上較長的大致矩形形狀；
多個陰極，沿著所述腔室的長度方向排列；
多個弧電源，分別連接在所述腔室與各陰極之間；及
多個電流計，測定各所述弧電源中流動的電流，
所述弧電源與所述腔室之間的連接部分和配置各陰極的部位對應，
所述陰極配置成多列，配置于各列的陰極位置交替地不同。
2.根據權利要求1所述的離子源，其中，
所述離子源具備控制裝置，所述控制裝置監控所述弧電源中流動的電流，并對離子源的參數進行調整，以使監控值處于第一預定范圍內。
3.一種離子注入裝置，
具有對從權利要求2所述的離子源引出的離子束的束電流進行測定的測定器，
所述控制裝置根據所述測定器的測定結果，對所述弧電源的電壓值或所述陰極中流動的電流值進行調整、或者對所述弧電源的電壓值及所述陰極中流動的電流值雙方進行調整，以使所述弧電源中流動的電流值處于第二預定范圍內。
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