[發(fā)明專利]離子源及離子注入裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711320176.5 | 申請日： | 2017-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN108054071B | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 井內(nèi)裕 | 申請（專利權）人： | 日新離子機器株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/244;H01J37/30 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 蘇卉;高培培 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子源 離子 注入 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子源，在腔室內(nèi)部生成等離子體并從該等離子體引出離子束，所述離子源具有：
腔室，呈在一方向上較長的大致矩形形狀；
多個陰極，沿著所述腔室的長度方向排列；
多個弧電源，分別連接在所述腔室與各陰極之間；及
多個電流計，測定各所述弧電源中流動的電流，
所述弧電源與所述腔室之間的連接部分和配置各陰極的部位對應，
所述陰極配置成多列，配置于各列的陰極位置交替地不同。
2.根據(jù)權利要求1所述的離子源，其中，
所述離子源具備控制裝置，所述控制裝置監(jiān)控所述弧電源中流動的電流，并對離子源的參數(shù)進行調(diào)整，以使監(jiān)控值處于第一預定范圍內(nèi)。
3.一種離子注入裝置，
具有對從權利要求2所述的離子源引出的離子束的束電流進行測定的測定器，
所述控制裝置根據(jù)所述測定器的測定結果，對所述弧電源的電壓值或所述陰極中流動的電流值進行調(diào)整、或者對所述弧電源的電壓值及所述陰極中流動的電流值雙方進行調(diào)整，以使所述弧電源中流動的電流值處于第二預定范圍內(nèi)。
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