[發明專利]一種飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法

有效

• 申請號: 201711318353.6
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108226123B
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 吳立軍;王云霞;來辰;郭成成;李強;廖國材
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65;B82Y40/00
• 代理公司: 廣州容大知識產權代理事務所(普通合伙) 44326
• 代理人: 劉新年

1.一種飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1)成膜液配制：配制含聚乙烯吡咯烷酮和硝酸銀的水溶液；

步驟2)制膜：將成膜液滴在成膜基底上旋涂，干燥后得到薄膜；

步驟3)蝕刻：將薄膜放在三維納米位移臺上，采用飛秒脈沖激光直寫，在薄膜上掃描即可以蝕刻出大面積的銀納米結構；

步驟4)顯影：把蝕刻好的薄膜，放置于乙醇中浸泡一段時間，取出，再放到熱水中浸泡一段時間后，再取出，吹干，得到銀微納結構基底；

步驟3)中所述激光功率為10～40mw；掃描間距為0.2～0.8um；飛秒脈沖激光的波長為790～810nm，脈寬為130飛秒，脈沖重復頻率為76MHz，用100倍數值孔徑為1.4的物鏡加工薄膜。

2.根據權利要求1所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，所述成膜液中：聚乙烯吡咯烷酮的摩爾濃度范圍為0.18～0.22mol/L；硝酸銀的摩爾濃度范圍為0.1～0.2mol/L。

3.根據權利要求2所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，步驟1)所述的成膜液中，PVP和硝酸銀的摩爾濃度比范圍為1:1～2:1。

4.根據權利要求1所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，所述激光功率為30～40mw，掃描間距為0.5～0.8um。

5.根據權利要求1所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，步驟2)中旋涂過程為：旋涂機轉速為500～700轉/min下，轉8-10秒，再在1400～1600轉/min下，轉25～35秒進行旋涂；

干燥過程為：先自然晾干，然后用烘箱在95-105℃下烘9～11分鐘，得到薄膜。

6.根據權利要求1所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，步驟1)中成膜液配制過程中需要進行攪拌，所述的攪拌均為超聲攪拌，攪拌時間為0.5小時。

7.根據權利要求1所述的飛秒激光制備表面增強拉曼散射基底的方法，其特征在于，步驟4)蝕刻好的薄膜，放在乙醇里浸泡0.5～2小時后，取出，再放到去離子水中，并在烘箱80～95℃中烘0.2～1小時，再取出，用氮氣吹干，得到銀微納結構基底。