[發明專利]光調制器

在審

• 申請號: 201711317588.3
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108693664A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 宮崎德一;細川洋一;菅又徹
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/03
• 分類號: G02F1/03;G02F1/035
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 方應星;高培培

1.一種光調制器，是由在具有電光效應的基板上并列設置的多個光波導構成的波導型光元件，其特征在于，具備：

多個信號電極，對在所述光波導中分別傳播的光波進行控制且并列設置；以及

多個接地電極，以在所述基板的面方向上夾著所述信號電極的方式設置，

至少一個所述接地電極由第一層和形成在該第一層之上的第二層構成，

所述第二層形成為，該第二層和與該第二層相鄰的信號電極之間的距離大于所述第一層和所述相鄰的信號電極之間的距離，

由所述第一層及所述第二層構成的所述接地電極的厚度為25μm以上。

2.根據權利要求1所述的光調制器，其中，

所述信號電極的厚度與所述接地電極的第二層的厚度相同。

3.根據權利要求1所述的光調制器，其中，

所述信號電極由形成在所述基板之上的第三層和形成在該第三層之上的第四層構成，

所述第二層形成為，該第二層和與該第二層相鄰的信號電極的所述第四層之間的距離大于所述第一層和所述相鄰的信號電極的所述第三層之間的距離。

4.根據權利要求3所述的光調制器，其中，

所述第三層的厚度與所述第一層的厚度相同，所述第四層的厚度與所述第二層的厚度相同。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的光調制器，其中，

所述第一層與所述第二層由彼此不同的材料構成。

6.根據權利要求3或4所述的光調制器，其中，

所述第一層與所述第三層由相同材料構成，

所述第二層與所述第四層由相同材料構成。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的光調制器，其中，

所述基板由LiNbO₃構成，且厚度小于30μm。