[發明專利]被加工物的加工方法

在審

• 申請號: 201711316175.3
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108202183A
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 荒川太朗
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/53
• 分類號: B23K26/53;H01L21/78
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種被加工物的加工方法，對板狀的被加工物從背面側照射對于該被加工物具有透過性的波長的激光束而在該被加工物的內部形成沿著分割預定線的改質層，該被加工物具有：正面，其在由該分割預定線劃分的區域中形成有器件；以及梨皮狀的背面，其具有凹凸，該被加工物的加工方法的特征在于，

具有如下的步驟：

樹脂層形成步驟，在該被加工物的該背面上形成使該激光束透過的樹脂層；

覆蓋部件密接步驟，使覆蓋部件的背面與形成于該被加工物的該背面上的該樹脂層密接，該覆蓋部件使該激光束透過并且具有比該被加工物的該背面平坦的正面；以及

激光束照射步驟，從該覆蓋部件的露出的該正面側隔著該樹脂層對該被加工物照射該激光束，在該被加工物的內部形成該改質層，

通過該樹脂層和該覆蓋部件來抑制因該背面的凹凸而引起的該激光束的折射。

2.根據權利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

在該激光束的該波長中，該樹脂層的折射率或該覆蓋部件的折射率與該被加工物的折射率之間的差比空氣的折射率與該被加工物的折射率之間的差小。

3.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

該樹脂層形成為超過該背面的該凹凸的最大高低差的厚度。

4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

該覆蓋部件由與該被加工物相同的材質形成。