[發明專利]一種新式結構的單晶爐用加熱器在審
| 申請號： | 201711312351.6 | 申請日： | 2017-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN109898132A | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發明（設計）人： | 鄧德輝;王學鋒;李超 | 申請（專利權）人： | 有研半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱器 單晶爐 石墨板 熔化 弧形過渡 濃度保持 外形結構 溫度梯度 多晶硅 高溫區 熱對流 粘連 酒杯 開槽 拉晶 熔體 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶爐用加熱器，該加熱器由環形的石墨板構成，石墨板上均勻開槽，其特征在于，該加熱器具有在軸向上寬下窄的結構，該加熱器的上半部分與下半部分之間為弧形過渡。
2.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器，其特征在于，從加熱器頂部至加熱器高度三分之一的區域為加熱器的上半部分，從加熱器底部至加熱器高度三分之二的區域為加熱器的下半部分。
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