[發明專利]金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑及其應用

有效

• 申請號: 201711311254.5
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN108193280B
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 姚偉明;夏慶華
• 申請（專利權）人: 杭州飛鹿新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 周超

1.一種金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，包括以下組分：高分子量聚醚、小分子量聚醚與水；所述高分子量聚醚的分子量為1000～6000，所述小分子量聚醚的分子量小于1000；所述高分子量聚醚為全嵌段聚醚與雜嵌段聚醚中的一種或者多種；所述小分子量聚醚為含有6至20個醚基的聚乙二醇中的一種或者多種；所述高分子量聚醚與所述水的重量之比為0.1～5:100，所述小分子量聚醚與所述水的重量之比為0.5～10:100。

2.根據權利要求1所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述全嵌段聚醚為REP聚醚、Pluronic系列聚醚或者Tetronic系列聚醚；所述小分子量聚醚選自聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600和聚乙二醇800中的一種或多種。

3.根據權利要求1所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述組分還包括聚氧乙烯醚系列表面活性劑與氟碳表面活性劑。

4.根據權利要求3所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚氧乙烯醚系列表面活性劑選自烷基酚聚氧乙烯醚與脂肪醇聚氧乙烯醚中一種或多種；所述氟碳表面活性劑氟碳表面活性劑為杜邦Capstone FS系列氟碳表面活性劑。

5.根據權利要求4所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑，其特征在于，所述聚氧乙烯醚系列表面活性劑的聚合度為8～12；所述杜邦Capstone FS系列氟碳表面活性劑選自FS-10、FS-20、FS-22和FS-3100中的一種或多種。

6.一種金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑的應用，其特征在于，包括以下步驟：

1)配制制絨液；2)將權利要求1至5任意一項所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑加入步驟1)的制絨液中；3)將金剛線多晶硅片放入步驟2)的含有添加劑的制絨液中進行制絨。

7.根據權利要求6所述的金剛線多晶硅片酸性制絨液的添加劑的應用，其特征在于，所述制絨液主要由氫氟酸、硝酸與水配制而成；所述添加劑與步驟1)的制絨液的重量比為0.5～2:100；所述步驟3)的制絨溫度為8～15℃，制絨時間為60～150s。