[發(fā)明專利]基于表面等離子體共振的金屬膜測量裝置及測量方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711310751.3 | 申請日： | 2017-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN108169183B | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡國行;單堯;羅陽;賀洪波;趙元安;邵建達 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01N21/552 | 分類號： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 張寧展 |
| 地址： | 201800 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 表面 等離子體 共振 金屬膜 測量 裝置 測量方法 | ||
1.一種基于表面等離子體共振的金屬膜測量方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
1）選取折射率在1.5~1.7范圍內(nèi)的等腰直角三棱鏡（2）和折射率在1.2~1.4范圍內(nèi)的介質(zhì)膜（3）；
2）將所述的介質(zhì)膜（3）鍍在等腰直角三棱鏡（2）的底面上，所述的介質(zhì)膜（3）的膜層厚度為亞微米量級；
3）將待測金屬膜層（4）鍍在介質(zhì)膜（3）上；
4）將鍍膜后的直角三棱鏡（2）放置在溶液中，使溶液浸沒待測金屬膜層（4），該溶液滿足折射率為1.3~1.6，消光系數(shù)為0；
5）移動并調(diào)節(jié)橢偏儀發(fā)射臂，使橢偏儀發(fā)射臂的入射角為45度，調(diào)整等腰直角三棱鏡（2），使橢偏儀發(fā)射臂（1）出射的光束經(jīng)等腰直角三棱鏡（2）的直角面反射后的光與入射光重合；
6）再次調(diào)節(jié)橢偏儀發(fā)射臂的入射角，使等腰直角三棱鏡（2）與介質(zhì)膜的界面處的入射光角度大于該界面的全反射臨界角度，滿足激發(fā)表面等離子體共振的條件；
7）利用橢偏儀測量不同入射波長對應的光的振幅比Ψ、相位差Δ；
8）擬合振幅比Ψ、相位差Δ值與入射波長的關(guān)系曲線，計算反演得到待測金屬膜層（4）的厚度和光學常數(shù)。
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