[發明專利]一種適用于高純氯硅烷的充裝系統及其充卸料方法

有效

• 申請號: 201711310529.3
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN107893907B
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 王姍
• 申請（專利權）人: 成都蜀菱科技發展有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 何龍

1.一種適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，其包括相互并聯設置的常規氮氣管線系統、高純氮氣管線系統、尾氣管線系統、裝車管線系統以及卸車管線系統，其中，所述常規氮氣管線系統與所述尾氣管線系統并聯連通，所述高純氮氣管線系統包括第一高純氮氣管線系統和第二高純氮氣管線系統，所述第一高純氮氣管線系統與所述尾氣管線系統并聯連通，所述第二高純氮氣管線系統與所述卸車管線系統并聯連通；所述裝車管線系統與所述尾氣管線系統和所述卸車管線系統均并聯連通。

2.根據權利要求1所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述常規氮氣管線系統、所述高純氮氣管線系統、所述尾氣管線系統、所述裝車管線系統和所述卸車管線系統相互之間對應設置有手動截止閥，從而控制著所述常規氮氣管線系統、所述高純氮氣管線系統、所述尾氣管線系統、所述裝車管線系統和所述卸車管線系統相互之間對應的連通關系。

3.根據權利要求1所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述充裝系統可拆卸的內置于充裝柜中，所述充裝柜中設置有用于偵測HCl氣體的泄露偵測裝置。

4.根據權利要求3所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述泄露偵測裝置包括氣體偵測探頭和控制器，所述氣體偵測探頭設置于所述充裝柜頂部，且與所述控制器通信連接。

5.根據權利要求4所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述充裝系統還內置有與所述控制器通信電連接的抽風系統，當所述控制器接受所述氣體偵測探頭的報警信號時，所述控制器啟動所述抽風系統進行工作并同時關閉所述充裝系統的充裝閥。

6.根據權利要求1所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述充裝系統還內置有用于對物料管線進行真空置換的文丘里真空裝置。

7.根據權利要求1-6任意一項所述的適用于高純氯硅烷的充裝系統，其特征在于，所述充裝系統還設置了PLC控制系統，所述PLC控制系統與所述充裝系統的各個閥門通信電連接；所述充裝系統的管線中還連通設置有用于判斷管道內物料是否完全被置換干凈的pH檢測器。

8.一種適用于高純氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，其包括：

對充裝軟管和與所述充裝軟管可拆卸對接的油罐箱閥門分別進行潔凈清理并進行對接；通入置換氣體依次進行試漏和第一次吹掃置換和充壓卸料；

對管道系統殘留的物料進行二次卸料，再對罐車泄壓，使管道內殘留物料倒流入罐車內，進而再對裝料管道進行第二次吹掃置換，并在第二次吹掃置換結束后，對所述管道系統進行置換檢查。

9.根據權利要求8所述的適用于高純氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，進行第一次吹掃置換和第二次吹掃置換時均依次包括惰性氣體吹掃、真空吹掃和正壓吹掃。

10.根據權利要求9所述的適用于高純氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，所述高純氯硅烷包括四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅和甲基氯硅烷中的至少一種；所述置換氣體包括高純氮氣、氫氣和惰性氣體。