[發(fā)明專利]鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應(yīng)用

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711308051.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107841643A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程銀兵;莊志杰;顧宗慧;莊猛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): C22C1/04
• 分類號(hào): C22C1/04;C22C21/00;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 王樂(lè)

1.一種鋁鈧合金靶坯，其特征在于，所述鋁鈧合金靶坯包括：

16-50重量份的鈧，50-84重量份的鋁，所述鋁鈧合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁鈧合金靶坯，其特征在于，所述鋁鈧合金靶坯的晶粒粒度小于等于100μm。

3.一種鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

取粒徑在20-100μm范圍內(nèi)的鈧粉和鋁粉,將所述鈧粉和所述鋁粉按配比進(jìn)行冷等靜壓，所述鈧粉與所述鋁粉的質(zhì)量比為16-50：50-84；

然后在真空度為10^-3Pa-0.1Pa下進(jìn)行真空燒結(jié)，再冷卻得到鋁鈧合金靶坯，所述燒結(jié)為階段式升溫?zé)Y(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述冷等靜壓的壓力為100MPa-300MPa。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述階段式升溫為：先以100-200℃/h的速度升溫至800-899℃，然后保溫2-4h；再以200-400℃/h的速度升溫至1000-1200℃，然后保溫4-24h。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述冷卻的降溫速度為50-100℃/h。

7.一種鋁鈧合金靶材，其特征在于，包括背板、以及貼合于所述背板上的鋁鈧合金靶坯，所述的鋁鈧合金靶坯為權(quán)利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯。

8.一種鋁鈧合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將權(quán)利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯貼合于背板上，從而得到鋁鈧合金靶材。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鋁鈧合金靶材的制備方法，其特征在于，所述貼合的方式為擴(kuò)散焊接的方式。

10.一種包括權(quán)利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯在微型機(jī)電系統(tǒng)制備中的應(yīng)用。