[發明專利]一種ITO觸摸屏加工處理方法

在審

• 申請號: 201711307368.2
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN108037849A
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 許沭華;鐘素文;王超;李家衛
• 申請（專利權）人: 蕪湖長信科技股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 蔣兵魁

1.一種ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：所述的ITO觸摸屏加工處理方法的加工步驟為：1)加工ITO觸摸屏的ITO觸摸屏原材包括原材A面和原材B面，對原材A面和原材B面分別進行鍍膜處理后，對原材A面依次進行光阻涂布處理、前烘烤處理、曝光處理、顯影處理、后烘烤處理；2)對原材B面依次進行光阻涂布處理、前烘烤處理、曝光處理、顯影處理、后烘烤處理；3)對原材A面和原材B面同時進行蝕刻處理，完成后進行光阻脫膜處理，完成ITO觸摸屏加工處理；4)重復上述步驟，可以批量完成ITO觸摸屏加工處理。

2.根據權利要求1所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：加工ITO觸摸屏原材時，將混合導電物質氧化銦錫真空濺射鍍到觸摸屏基板上，形成透明導電膜層，形成透明導電膜層與觸摸屏基板結合后形成ITO觸摸屏原材。

3.根據權利要求1或2所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：對原材A面依次進行光阻涂布處理、前烘烤處理、曝光處理、顯影處理、后烘烤處理時，前烘烤處理時間控制在3.8min-4.2min之間，曝光處理時間控制在0.38min-0.42min之間，后烘烤處理時間控制在3.8min-4.2min之間，前烘烤處理時的烘烤溫度控制在135℃-155℃之間，后烘烤處理時的烘烤溫度控制在135℃-155℃之間。

4.根據權利要求1或2所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：對原材B面依次進行光阻涂布處理、前烘烤處理、曝光處理、顯影處理、后烘烤處理時，前烘烤處理時間控制在3.8min-4.2min之間，曝光處理時間控制在0.38min-0.42min之間，后烘烤處理時間控制在3.8min-4.2min之間，前烘烤處理時的烘烤溫度控制在135℃-155℃之間，后烘烤處理時的烘烤溫度控制在135℃-155℃之間。

5.根據權利要求1或2所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：對原材A面進行顯影處理時，對A面線寬線距控制，對光阻膜厚監控；線寬線距控制時控制顯影液的電導率在49-51mS/cm，光阻的膜厚控制在2.8-3.2um；對原材B面進行顯影時，處理顯影不凈、過顯和藥液殘留問題，處理顯影不凈和過顯時，調整電導率范圍在46-48mS/cm，同時關閉顯影藥液段的下噴；處理藥液殘留問題時，通過增加顯影機純水段下噴水洗段壓力到0.1MPa以上來實現。

6.根據權利要求1或2所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：對原材A面和原材B面同時進行蝕刻處理時，通過將ITO觸摸屏原材浸入蝕刻液中進行蝕刻處理，在蝕刻液中浸入的時間在2.4min-2.7min之間。

7.根據權利要求6所述的ITO觸摸屏加工處理方法，其特征在于：蝕刻液中的三氯化鐵的重量百分比為5％-15％，鹽酸的重量百分比為20％-40％，溶劑為水，ITO觸摸屏原材浸入蝕刻液中進行蝕刻處理時蝕刻液的溫度為39℃-41℃。