[發(fā)明專利]印刷機(jī)卸載用緩沖臺在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711307348.5 | 申請日: | 2017-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN108074852A | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 何長春;仇杰;葛豎堅;何梅 | 申請(專利權(quán))人: | 東方日升新能源股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州橙知果專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 駱文軍 |
| 地址: | 315600 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 印刷機(jī) 擋板 進(jìn)料口 硅片存儲 蓋板 出料口 緩沖臺 卸載 驅(qū)動機(jī)構(gòu) 上下滑動 上下料機(jī) 生產(chǎn)效率 臺本發(fā)明 抽風(fēng)口 出料端 進(jìn)料端 下料機(jī) 硅片 緩沖 送出 四面 驅(qū)動 生產(chǎn) | ||
1.一種印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:它包括位于印刷機(jī)(1)上下料機(jī)(2)前端的機(jī)架(3),所述機(jī)架(3)頂部設(shè)有蓋板(4),蓋板(4)上設(shè)有兩個抽風(fēng)口(5);所述機(jī)架(3)上部的四面均設(shè)有擋板(6),其中位于前后兩側(cè)的擋板(6)上分別設(shè)有進(jìn)料口(7)和出料口(8),進(jìn)料口(7)對應(yīng)印刷機(jī)(1)的出料端,出料口(8)對應(yīng)下料機(jī)(2)的進(jìn)料端;所述機(jī)架(3)內(nèi)部上下滑動連接有硅片存儲架(9),硅片存儲架(9)下方的機(jī)架(3)上設(shè)有驅(qū)動硅片存儲架(9)上下滑動的驅(qū)動機(jī)構(gòu);所述設(shè)有進(jìn)料口(7)的擋板(6)內(nèi)側(cè)設(shè)有用于接收和送出硅片的接送料機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述蓋板(4)分為一塊固定板(41)和兩塊活動板(42),固定板(41)位于兩塊活動板(42)之間的位置上,且固定板(41)與機(jī)架(3)固定連接;所述兩個抽風(fēng)口(5)位于固定板(41)上,且固定板(41)上兩個抽風(fēng)口(5)處均設(shè)有管接頭(10);所述兩塊活動板(42)均與固定板(41)鉸接,且兩塊活動板(42)的上端面均設(shè)有把手(43)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括兩個第一氣缸(11)和兩個氣流控制器,兩個氣流控制器各自對應(yīng)連接一個第一氣缸(11);所述硅片存儲架(9)分為左框架(91)和右框架(92),且左框架(91)與右框架(92)一一對應(yīng),左框架(91)和右框架(92)均通過滑塊(12)與機(jī)架(3)滑動連接;所述兩個第一氣缸(11)的活塞桿分別與各自對應(yīng)的左框架(91)的滑塊(12)和右框架(92)的滑塊(12)連接,同步控制左框架(91)和右框架(92)的上下滑動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述接送料機(jī)構(gòu)包括支架(13),所述支架(13)位于進(jìn)料口(7)下方,所述支架(13)一端與擋板(6)或機(jī)架(3)連接,支架(13)另一端向上折起,且支架(13)另一端上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸(14),所述轉(zhuǎn)軸(14)的兩端設(shè)有用于接送料的輪子(15),所述支架(13)還設(shè)有帶動轉(zhuǎn)軸(14)轉(zhuǎn)動的動力機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述支架(13)一端與擋板(6)或機(jī)架(3)鉸接;在支架(13)與進(jìn)料口(7)之間的擋板(6)上鉸接有第二氣缸(16),所述第二氣缸(16)的活塞桿與支架(13)鉸接,用于控制支架(13)繞著一端鉸接處轉(zhuǎn)動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述輪子(15)的外周面包覆有柔性材料制備的緩沖層。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述動力機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(17),所述電機(jī)(17)固定在支架(13)上,所述轉(zhuǎn)軸(14)上設(shè)有皮帶輪(18),所述電機(jī)(17)通過皮帶(19)與皮帶輪(18)傳動連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述擋板(6)上進(jìn)料口(7)下方設(shè)有用于感應(yīng)硅片進(jìn)入進(jìn)料口(7)的感應(yīng)器(20)。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述機(jī)架(3)上硅片存儲架(9)的下方設(shè)有兩根平行的型材(21),兩根型材(21)與兩個第一氣缸(11)一一對應(yīng),所述型材(21)上設(shè)有長條形的T字型固定槽(22),所述兩個第一氣缸(11)分別通過固定塊(23)固定在各自對應(yīng)的型材(21)上,所述固定塊(23)通過螺栓和固定槽(22)的組合固定在型材(21)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的印刷機(jī)卸載用緩沖臺,其特征在于:所述機(jī)架(3)上硅片存儲架(9)的下方設(shè)有隔板(24),所述隔板(24)固定在兩根平行的型材(21)的上端面。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





