[發明專利]感光樹脂組合物

有效

• 申請號: 201711304224.1
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN109901361B
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 孫濤;劉永祥;桑偉
• 申請（專利權）人: 固安鼎材科技有限公司
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種感光樹脂組合物，其包含由以下單體聚合得到的流平劑I：丙烯酸六氟丁酯(a)20～40重量份玻璃化溫度大于100℃單體(b)20～40重量份馬來酰亞胺(c)10～20重量份C8～C18的烯烴單體(d)10～20重量份。本發明提供的感光樹脂組合物用來制備彩色濾色片時，能夠顯著降低光阻材料表面的粗糙度，并有效改善Taper，是一種坡度優良的感光樹脂組合物。

技術領域

本發明屬于液晶顯示器領域，具體涉及一種用于制備彩色濾光片的感光樹脂組合物。

背景技術

彩色濾光片是液晶顯示器實現彩色化的一個關鍵器件，而用來制備濾色片的彩色光刻膠/光阻，其性能直接影響到液晶顯示器的顯示效果。彩色濾光片的一般制備過程包括涂膠-前烘-曝光-顯影-后烘，由于在曝光過程中光刻膠表面固化的更好，所以容易出現上部聚合度高，下部聚合度低的現象。這樣在顯影的沖洗作用下往往會出現倒梯形結構。這種倒梯形結構會在后烘階段隨著光刻膠材料的軟化、流動而塌陷成為正梯形，從而形成了邊緣的坡度(Taper)。Taper之于彩色濾光片制造過程是一項非常重要的指標，一般要求需要30-60°，如果Taper超過要求，會導致后續ITO濺射工藝/ITO濺射膜的導電性不佳從而導致液晶模組的不良。

現有技術中，在后烘流動的過程中，往往由于熔融狀態的光阻對基板/BM的潤濕不佳，從而導致Taper出現超規的現象。目前光阻中使用的普通流平劑，如BYK/DIC公司的產品，作用機理均是保證光阻溶液在涂膠過程中的鋪展，增強其成膜的平坦度。眾所周知，流平劑的作用機理就是靠其在表面的富集從而改變液體的表面能。所以現有的流平劑均會快速遷移到液體表面，而在顯影后，現有的普通流平劑容易被顯影液沖洗掉，同時沖洗形成的截面處無流平劑，造成對基板/BM的潤濕效果不佳。

值得一提的是，如果使用普通流平劑，在顯影過程后光刻膠表面只會殘余很少量流平劑，導致后烘過程中的流平效果大打折扣，所以對于光阻材料表面的粗糙程度改善有限。其他公司考慮到表面粗糙度的影響，在一些技術方案中，會使用含有雙鍵的流平劑，這樣能夠保證其在光聚合過程中連接到光阻中，減少顯影過程中被沖刷。但是這種固定流平劑的方式對沖洗形成的截面流平少有助益，無法改善Taper。

至此，為改善Taper及光阻表面粗糙度的問題，有必要使用一種新型的流平劑，這種流平劑能夠在涂布-前烘-曝光-顯影的過程中潛伏在體系內部，有且只有當光阻溫度大于100℃時才會逐漸熔融，緩慢遷移至光阻材料的表面，用于解決Taper及粗糙度的問題。

發明內容

解決的技術問題

本發明旨在解決彩色濾光片制造時，由于流平劑容易被顯影液沖洗掉，熔融光刻膠材料潤濕基板不佳，從而導致的Taper超規現象。

采用的技術方案

為此，本發明提供一種感光樹脂組合物，該組合物包含主要由如下單體聚合得到的流平劑I：

丙烯酸六氟丁酯(a) 20～40重量份

玻璃化溫度大于100℃單體(b) 20～40重量份

馬來酰亞胺(c) 10～20重量份

C8～C18的烯烴單體(d) 10～20重量份。

有益效果

采用本發明的感光樹脂組合物制備的彩色濾色片，能夠顯著降低光阻材料表面的粗糙度，并有效改善Taper。

附圖說明

圖1：對比例的Taper形貌；

圖2：實施例3的Taper形貌。

具體實施方式