[發(fā)明專利]一種全自動晶粒挑選機(jī)及其工作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711301635.5
• 申請日: 2017-12-10
• 公開（公告）號: CN107899744B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路明;王毅
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: B03C1/18
• 分類號: B03C1/18
• 代理公司: 揚(yáng)州市蘇為知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32283
• 代理人: 周全

1.一種全自動晶粒挑選機(jī)，其特征在于，包括機(jī)架、傳送機(jī)構(gòu)和篩選機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)和篩選機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述機(jī)架上，所述篩選機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述傳送機(jī)構(gòu)的頂部，與所述傳送機(jī)構(gòu)的傳送方向相垂直；

所述傳送機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)、傳送帶和若干惰輪；若干所述惰輪平行活動設(shè)置在所述機(jī)架上，所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)與任一所述惰輪連接，所述傳送帶套設(shè)在若干所述惰輪上；

所述篩選機(jī)構(gòu)包括支撐架、電磁板和第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)；所述支撐架通過機(jī)架固定設(shè)置在所述傳送機(jī)構(gòu)的頂部；所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述機(jī)架上，所述電磁板通過第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)在所述支撐架上水平移動；

所述支撐架包括一對光軸和一對架體；一對所述架體位于所述傳送機(jī)構(gòu)的兩側(cè)；一對所述光軸分別固定設(shè)置在一對所述架體之間，位于所述傳送機(jī)構(gòu)的頂部；所述電磁板的兩側(cè)分別活動連接在相應(yīng)的光軸上；所述光軸上設(shè)有第一彈簧，位于架體與電磁板之間；

所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括軸桿、牽引帶、收帶輪、旋轉(zhuǎn)針、脫針架和第四電機(jī)；

所述脫針架固定設(shè)置在所述機(jī)架上；

所述收帶輪活動連接在所述軸桿上；所述牽引帶的一端與所述收帶輪固定連接，另一端與所述電磁板固定連接；所述脫針架通過連接柱帶動所述收帶輪旋轉(zhuǎn)；

所述軸桿通過一對軸承座與所述架體連接，所述第四電機(jī)固定連接在所述軸桿的一端，所述旋轉(zhuǎn)針套設(shè)在所述軸桿上，遠(yuǎn)離所述第四電機(jī)一側(cè)；所述旋轉(zhuǎn)針在所述軸桿上可橫向移動；遠(yuǎn)離所述第四電機(jī)一側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)針之間設(shè)有第二彈簧；

所述脫針架固定設(shè)置在所述收帶輪與旋轉(zhuǎn)針之間，其靠近所述旋轉(zhuǎn)針的一側(cè)設(shè)有脫針機(jī)構(gòu)；

所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)、動力帶輪和第一帶輪；所述第一電機(jī)固定設(shè)置在所述機(jī)架上，所述第一帶輪固定連接在所述第一電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸上，所述動力帶輪固定連接在所述惰輪的一側(cè)，所述動力帶輪通過第一動力帶與所述第一帶輪連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶粒挑選機(jī)，其特征在于，所述脫針機(jī)構(gòu)為伸縮缸或斜面向下設(shè)置的三角型塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶粒挑選機(jī)，其特征在于，所述電磁板的底部設(shè)有適配的刮板，所述刮板固定連接在所述機(jī)架上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動晶粒挑選機(jī)，其特征在于，所述傳送機(jī)構(gòu)的尾部設(shè)有收晶圓機(jī)構(gòu)，所述收晶圓機(jī)構(gòu)包括底座和料斗，所述料斗設(shè)置在所述底座的頂部面，所述底座固定設(shè)置在所述機(jī)架上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種全自動晶粒挑選機(jī)，其特征在于，所述收晶圓機(jī)構(gòu)與篩選機(jī)構(gòu)之間設(shè)有復(fù)檢機(jī)構(gòu)；

所述復(fù)檢機(jī)構(gòu)包括電動伸縮桿和呈U型的托盤；所述電動伸縮桿水平固定連接在機(jī)架上，位于晶圓的頂部位置；所述托盤水平設(shè)置固定連接在所述電動伸縮桿的前端；

所述傳送帶的兩側(cè)分別設(shè)有氣缸，位于晶圓的下方。

6.一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動晶粒挑選機(jī)工作方法，其特征在于，按以下步驟：

1）、上料；將若干晶圓均布排列于傳送帶上；

2）、篩選；篩選機(jī)構(gòu)對相應(yīng)工位晶圓上的晶粒進(jìn)行篩選，提取；

2.1）、電磁板移動；通過第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)移動至晶圓的頂部位置；

2.2）、電磁板通電；將混有磁粉墨點(diǎn)的晶粒從晶圓上吸取；

2.3）、電磁板復(fù)位；電磁板通過外力恢復(fù)到原位；

2.4）、電磁板失電；失電后，吸取的晶粒從電磁板上掉落；

3）、收集；篩選后的晶圓通過傳送帶傳送尾部，進(jìn)行收集。