[發明專利]用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統在審
| 申請號： | 201711296522.0 | 申請日： | 2017-12-08 |
| 公開（公告）號： | CN108127560A | 公開（公告）日： | 2018-06-08 |
| 發明（設計）人： | 裴寧;王大森;聶鳳明;張廣平;李曉靜;劉敏 | 申請（專利權）人： | 中國兵器科學研究院寧波分院 |
| 主分類號： | B24B49/00 | 分類號： | B24B49/00 |
| 代理公司： | 寧波誠源專利事務所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠衛;林輝 |
| 地址： | 315103 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 方形光學元件 液壓傳動組件 電動伺服 控制系統 控制器 驅動源 拋光 補油 壓力調整控制 壓力反饋組件 控制閥門 控制過程 控制壓力 拋光過程 伺服電機 壓力脈動 三通道 小泵 反饋 檢測 | ||
1.一種用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，包括控制器(1)和液壓傳動組件(3)，其特征在于：還包括作為液壓傳動組件(3)驅動源的電動伺服組件(2)，以及用于檢測液壓傳動組件(3)的壓力、從而反饋給控制器(1)以便控制電動伺服組件(2)的壓力反饋組件(4)。
2.根據權利要求1所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述電動伺服組件(2)包括有伺服電動缸，所述伺服電動缸包括集成為一體的伺服電機和絲杠，所述液壓傳動組件(3)包括有液壓缸，所述絲杠和液壓缸的活塞連接。
3.根據權利要求2所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述液壓缸為單杠活塞液壓缸。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述電動伺服組件(2)包括三組伺服電動缸，所述液壓傳動組件(3)包括三組液壓缸，所述壓力反饋組件(4)包括三組壓力變送器，每一組伺服電動缸、液壓缸和壓力變送器構成一個壓力控制通道。
5.根據權利要求4所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述電動伺服組件(2)包括第一伺服電動缸(21)、第二伺服電動缸(22)和第三伺服電動缸(23)，以及用于控制第一伺服電動缸(21)的第一驅動器(24)、用于控制第二伺服電動缸(22)的第二驅動器(25)、用于控制第三伺服電動缸(23)的第三驅動器(26)，所述第一驅動器(24)、第二驅動器(25)和第三驅動器(26)分別與控制器(1)電連接。
6.根據權利要求5所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述液壓傳動組件(3)包括第一液壓缸(31)、第二液壓缸(32)和第三液壓缸(33)，所述第一液壓缸(31)與第一伺服電動缸(21)的輸出端連接，所述第二液壓缸(32)與第二伺服電動缸(22)的輸出端連接，所述第三液壓缸(33)與第三伺服電動缸(23)的輸出端連接。
7.根據權利要求6所述的用于方形光學元件雙面快速拋光的控制系統，其特征在于：所述壓力反饋組件(4)包括用于檢測第一液壓缸(31)壓力的第一壓力變送器(41)、用于檢測第二液壓缸(32)壓力的第二壓力變送器(42)、用于檢測第三液壓缸(33)壓力的第三壓力變送器(43)，所述第一壓力變送器(41)、第二壓力變送器(42)和第三壓力變送器(43)分別與控制器(1)電連接。
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