[發明專利]高速EL夾持組件在審
| 申請號: | 201711293409.7 | 申請日: | 2017-12-08 |
| 公開(公告)號: | CN107845603A | 公開(公告)日: | 2018-03-27 |
| 發明(設計)人: | 牛建蓉 | 申請(專利權)人: | 哲為(上海)儀器科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H02S50/10 |
| 代理公司: | 上海申新律師事務所31272 | 代理人: | 郭春遠 |
| 地址: | 201209 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高速 el 夾持 組件 | ||
1.一種高速EL夾持組件,其特征在于:由一個電機(1)、一個聯軸器(2)、一個電機安裝座(3)、一個上夾持板(4)、一個下夾持板(5)、一個軸承座(6)、一個絲桿組件、兩個直線模塊和安裝底座(11)組成;所述的上下夾持板(4、5)分別由一塊夾持板(12)和兩個墊板(10)組成,呈“U”型;所述的絲桿組件由一個雙頭絲桿(9)、兩個絲桿連接座(7)和兩個絲桿活鈴(13)組成,所述的雙頭絲桿(9)上的兩段螺紋互為對旋,并分別與所述的兩個絲桿活鈴(13)配對,使得彼此反向運動,所述絲桿活鈴(13)則內嵌于絲桿連接座(7)內與所述的上下加持板(4、5)連接,帶動其反向運動。所述的直線模塊有一個導軌(14)和兩個滑塊(8)組成,滑塊(8)與所述的墊板(10)連接以保證上下加持板(4、5)沿導軌做直線精確往復運動;所述的電機(1)通過聯軸器(2)與雙頭絲桿(9)的一端連接驅動其正向或反向旋轉;所述的軸承座(6)支撐雙頭絲桿(9)的另一端保證雙頭絲桿(9)與電機(1)的旋轉軸同軸;所述的電機安裝座(3)將電機(1)固定于所述的安裝底座(11)上;所述的直線模塊也固定于安裝底座(11)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





