[發明專利]滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法和裝置

在審

• 申請號: 201711292916.9
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN108081436A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 曾學云;舒永春;劉洋;孫本雙
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: B28B1/20
• 分類號: B28B1/20;C23C14/34
• 代理公司: 北京衛智暢科專利代理事務所(普通合伙) 11557
• 代理人: 唐維鐵

本發明公開了一種滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法和裝置。該方法中，氧化物漿料流動分散于圓筒形模具的內壁上，在所述圓筒形模具的轉動過程中形成氧化物靶材坯體。可以設置在圓筒形模具的轉動過程中，氧化物漿料逐漸進入圓筒形模具內，該圓筒形模具由具有強吸水特性的石膏做成，氧化物漿料為低粘度、流動性好的氧化物漿料。該裝置包括圓筒形的本體和設置于本體兩端的封口部件，至少一個封口部件上設置有氧化物漿料進入的開口，且封口部件與本體可拆卸密封連接。方法簡單易行，能夠制備得到密度高的靶材坯體，裝置簡單，便于制備操作，可以制備的坯體尺寸可選范圍大，成本低。

技術領域

本實用發明屬于氧化物陶瓷材料制備領域，具體涉及一種滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法和裝置。

背景技術

氧化物陶瓷靶材，主要應用于濺射鍍膜成透明導電膜(Transparent conductiveoxide，簡稱TCO)。近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機發光顯示、太陽能電池等的發展,使得透明導電薄膜成為關鍵性材料之一。

目前，氧化物管狀靶坯的制備成型主要是采用低固相體積含量的漿料來噴霧造粒，然后用筒狀模具模壓、等靜壓成型得到粗坯，然后再在車床上加工制成筒狀靶坯。且所使用的模具制作復雜,不易操作,不易于制備大尺寸坯體靶材坯體。

發明內容

為了至少解決以上提到現有技術存在的技術問題之一，本發明公開了一種滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法，該方法將氧化漿料流動分散于圓筒形模具的內壁上，在圓筒形模具的轉動過程中形成氧化物靶材坯體。

作為本發明可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，可以設置在圓筒形模具的轉動過程中，氧化物漿料逐漸進入圓筒形模具內，制備氧化物陶瓷靶材坯體。

作為本發明可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，圓筒形模具可設置由具有強吸水特性的石膏制備而成。

作為本發明可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，氧化物漿料可以選用低粘度、流動性好的氧化物漿料。

作為本發明公開可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，圓筒形模具的轉動過程可以設置為以其水平設置的中心軸為轉軸進行。

作為本發明公開可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，滾筒的轉動過程可以設置為勻速運動。

作為本發明公開可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，圓筒形模具的兩端設置有可拆卸的封口部件。

進一步，作為本發明公開較為優選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，封口部件可以設置為表面光滑的圓形板材，例如，板材的材質可選為鋁塑、高分子塑料、金屬。

作為本發明公開可選實施例，作為滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法，該方法還可以包括從圓筒形模具中取出氧化物靶材坯體后在恒溫恒濕環境中干燥的過程。

作為本發明公開可選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法中，圓筒形模具的轉動可以設置為速度為80～180赫茲，轉動過程持續時間可以設置為10～24小時。

本發明還公開了一種滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的裝置，該裝置可以包括圓筒形的裝置本體和設置于裝置本體兩端的封口部件，其中至少一個封口部件上設置有氧化物漿料進入的進料開口；而且，所述封口部件與所述裝置本體可拆卸密封連接。

進一步，作為本發明公開較為優選實施例，滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的裝置中，圓筒形裝置本體包括由吸水性石膏制備成的模具組件和設置在模具組件外部的模具加強組件。

本發明公開的滾筒注漿成型制備氧化物陶瓷靶材的方法簡單易行，能夠制備得到密度高的靶材坯體，裝置簡單，便于制備操作，可以制備的坯體尺寸可選范圍大，成本低。