[發(fā)明專利]一種非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711285335.2 | 申請日： | 2017-12-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108037563A | 公開（公告）日： | 2018-05-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳鈺杰;楊灼輝;張彥峰;余思遠(yuǎn) | 申請（專利權(quán)）人： | 中山大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B6/12 | 分類號(hào)： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102 | 代理人： | 林麗明 |
| 地址： | 510275 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 對稱 反射 微環(huán)光 傳輸 器件 及其 制備 方法 | ||
1.一種非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：包括襯底、設(shè)置在襯底上的微環(huán)、設(shè)置在襯底上的位于微環(huán)后側(cè)的上傳直波導(dǎo)，設(shè)置在襯底上的位于微環(huán)前側(cè)的下載直波導(dǎo)，以及設(shè)置在襯底上的位于微環(huán)左側(cè)/右側(cè)的散射體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：所述上傳直波導(dǎo)、下載直波導(dǎo)與微環(huán)間的耦合處于或接近臨界耦合狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：所述微環(huán)的側(cè)壁光滑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：所述散射體的尺寸在四分之一諧振波長到諧振波長之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：所述襯底的折射率低于微環(huán)、上傳直波導(dǎo)、下載直波導(dǎo)、散射體的折射率。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件，其特征在于：所述襯底的材料為二氧化硅，微環(huán)、上傳直波導(dǎo)、下載直波導(dǎo)、散射體的材料為氮化硅或硅。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求1~6任一項(xiàng)所述非對稱反射的微環(huán)光傳輸器件的制備方法，其特征在于：包括有以下步驟：
S1.在襯底上生長一定厚度的光波導(dǎo)層；
S2.在光波導(dǎo)層上旋涂光刻膠，然后進(jìn)行圖形曝光以及顯影獲得掩膜圖形；
S3.根據(jù)掩膜圖形進(jìn)行刻蝕，獲得由光波導(dǎo)層構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，將光刻膠去除，得到微環(huán)光傳輸器件。
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